Ätzanlage
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Auftragsgegenstand, CPA-Nummer: CPV: 22520000. 1 Ätzanlage für Rückseitenvias. Anisotroper Ätzprozess für SiC (Siliciumcarbid). Gassystem SF6, Ar, O2, Cl2. Anisotroper Ätzprozess für GaAs. Gassystem Cl2, BCl3, Ar. Anisotroper Ätzprozess für GaAs. Gassystem C12, BC13, Ar. Ein-Scheiben-Betrieb, Chuck temperaturgeregelt (5° bis 50° C), Clamping vorzugsweise elektrostatisch, ICP Plasmaquelle bis 3 000 W Leistung, RF Anregung am Chuck bis 600 W Leistung, Ätzgase: SF6, C12, BC13, H2, Ar, O2, trockenes Pumpsystem, Druckregelung im Bereich 1 bis 20 ìbar (0,1 bis 2 Pa), Probeneinbau über Schleuse. Entwicklung, Demonstration und Bereitstellung der geeigneten Ätzprozesse, Homogenität der Ätzrate besser 5 % über 150 mm, Programmierbarer Prozessablauf, Automatische Datenspeicherung (data logging).
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2002-04-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2002-03-28.
Wer? Wie?- • Druckplatten oder Druckwalzen oder andere Träger zur Verwendung bei Druckarbeiten › Trockenätzausrüstung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2002-03-20 | Auftragsbekanntmachung |
| 2002-11-07 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Ätzanlage
Volltext:
“Auftragsgegenstand, CPA-Nummer: CPV: 22520000. 1 Ätzanlage für Rückseitenvias. Anisotroper Ätzprozess für SiC (Siliciumcarbid). Gassystem SF6, Ar, O2, Cl2....”
Ort der Leistung
Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ausschreibung
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Verordnung: Europäische Gemeinschaften
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Vergabekriterien
Entfällt
Angebotsart: Nicht definiert
Art des öffentlichen Auftraggebers: Körperschaften
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Land: Deutschland 🇩🇪
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2002-03-28 📅
Empfangsdatum: 2002-03-20 📅
Absendedatum: 2002-03-20 📅
Einreichungsfrist: 2002-04-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 48487-2002
ABl. S-Ausgabe: 62/2002
Objekt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Trockenätzausrüstung 📦
Quelle: OJS 2002/S 062-048487 (2002-03-20)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Vergebene Aufträge
Verfahren
Verfahrensart: Vergebene Aufträge
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2002-11-15 📅
Empfangsdatum: 2002-11-07 📅
Absendedatum: 2002-11-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 176121-2002
ABl. S-Ausgabe: 222/2002
Verweist auf Bekanntmachung: 48487-2002
Objekt
Zuschlagsdetails
Erteilter Auftrag: Auftragnehmer: SENTECH GmbH, d-Stockdorf.
Quelle: OJS 2002/S 222-176121 (2002-11-07)