Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Belackungs- und Entwicklungsstation
UNI-31-2023-0009
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte📦
Kurze Beschreibung:
“Lieferung einer Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie”
1️⃣
Ort der Leistung: Bremen, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Bremen
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse Haftvermittlung/Oberflächenaktivierung im Vakuum, Spin-Coating, Ausheizen, Entwickeln und Spray-Coating von Fotolacken umfasst. Diese Anlage muss die Möglichkeit bieten, diverse fotolithografische Prozesse, als typischerweise ersten Schritt für alle Arten von Anwendungen, für vielfältige wissenschaftliche Ansprüche durchzuführen. Dabei sollen nicht nur die Grundfunktionen dem aktuellen Stand der
Technik entsprechen, es müssen auch besondere Ansprüche an die Flexibilität bezüglich der eingesetzten Materialien/Techniken (z.B.: auswechselbare Zu- und Ableitungsgefäße, Möglichkeit der vollständigen Reinigung, mögliche Erweiterungen etc.), sowie den erhöhten Sicherheitsnotwendigkeiten (geschlossene Systeme,
Absaugungen, Sensoren zur Füllstandsüberwachung) beachtet werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 6
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Eintragung in das Berufsregister Ihres Sitzes oder Wohnsitzes, wie im Formular 124LD beschrieben” Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Technische und berufliche Fähigkeiten
Auswahlkriterien wie in den Auftragsunterlagen angegeben
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-10-13
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-11-30 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-10-13
13:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren): entfällt
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name:
“Vergabekammer der Freien Hansestadt Bremen bei der Senatorin für Bau, Mobilität und Stadtentwicklung”
Postanschrift: Contrescarpe 72
Postort: Bremen
Postleitzahl: 28195
Land: Deutschland 🇩🇪
Telefon: +49 42136159796📞
E-Mail: vergabekammer@bau.bremen.de📧
Fax: +49 421496-32311 📠
URL: https://bau.bremen.de/ressort/vergabekammer-3529🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Innerhalb von 15 Kalendertagen nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, kann ein Nachprüfverfahren bei der Vergabekammer beantragt werden (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB).
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Quelle: OJS 2023/S 178-558217 (2023-09-12)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-10-16) Objekt Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse...”
Beschreibung der Beschaffung
Ausgeschrieben wird eine halbautomatische Belackungs- und Entwicklungsstation für hochauflösende optische Lithografie, welche die Prozesse Haftvermittlung/Oberflächenaktivierung im Vakuum, Spin-Coating, Ausheizen, Entwickeln und Spray-Coating von Fotolacken umfasst. Diese Anlage muss die Möglichkeit bieten, diverse fotolithografische Prozesse, als typischerweise ersten Schritt für alle Arten von Anwendungen, für vielfältige wissenschaftliche Ansprüche durchzuführen. Dabei sollen nicht nur die Grundfunktionen dem aktuellen Stand der Technik entsprechen, es müssen auch besondere Ansprüche an die Flexibilität bezüglich der eingesetzten Materialien/Techniken (z.B.: auswechselbare Zu- und Ableitungsgefäße, Möglichkeit der vollständigen Reinigung, mögliche Erweiterungen etc.), sowie den erhöhten Sicherheitsnotwendigkeiten (geschlossene Systeme, Absaugungen, Sensoren zur Füllstandsüberwachung) beachtet werden.
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2023/S 178-558217
Auftragsvergabe
1️⃣ Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
Quelle: OJS 2023/S 203-636810 (2023-10-16)