CMP Anlage

Universität Siegen

Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-05-08. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-04-07.

Wer?

• Universität Siegen

Wie?

• Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
• Lasergesteuerte Werkzeugmaschinen und Bearbeitungszentren › Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke
• Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke › Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke

Wo?

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-04-07	Auftragsbekanntmachung
2026-04-21	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-04-07)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: CMP Anlage
Referenznummer: 04-WIS26E1OV
Kurze Beschreibung:

Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Diverse Maschinen und Geräte für besondere Zwecke 📦
Beschreibung
Interne Kennung: 04-WIS26E1OV
Beschreibung der Beschaffung:

Beschafft wird eine Anlage zum Planarisieren und Glätten von Oberflächen mittels chemisch-mechanischem Polieren (CMP, chemical mechanical polishing) zur Prozessierung von bis zu 6 Zoll großen Substraten. Das Gerät ist als integraler Bestandteil des halbleitertechnologischen Reinraums des Forschungsgebäudes INCYTE der Naturwissenschaftlich-Technischen Fakultät der Universität Siegen vorgesehen. Es dient in den universitären Forschungsschwerpunkten der Sensorik sowie der Materialwissenschaften als zentraler Reinraum-Gerätebestandteil zur Planarisierung und Glättung unterschiedlichster Substrate oder Proben, wobei überwiegend im Halbleiterbereich gebräuchliche Substrate adressiert werden sollen. Die Anlage steht den universitären Forschungszentren, dem Zentrum für Sensorsysteme (ZESS), dem Center for Micro- and Nanochemistry and Engineering (Cµ), dem Center for Innovative Materials (Cm), dem DFG-geförderten Mikro- und Nanoanalytikzentrum MNaF und der biomedizinischen Sensorforschung, wie auch externen Kooperationspartnern zur Verfügung. Zudem soll die Planarisierungsanlage zentral allen Forschern und Kooperationspartnern der Universität Siegen zur Verfügung stehen. Das Projektbudget der Hochschule beträgt maximal 407.000,00 EUR brutto. Dieser Betrag umfasst sämtliche anfallenden Steuern und Kosten- einschließlich jener aus dem Reverse-Charge-Verfahren, welche die Universität Siegen direkt an das Finanzamt abführt. Soweit erforderlich, rechnet die Vergabestelle diese Steuerlast bei Angebotsauswertung dem Angebotspreis hinzu. Angebote, die diese Obergrenze überschreiten, werden zwingend vom Vergabeverfahren ausgeschlossen. Bitte beachten Sie: Auch wenn die Leistungsbeschreibung in englischer Sprache bereitgestellt wird, müssen sämtliche Vergabeunterlagen zwingend in deutscher Sprache ausgefüllt und eingereicht werden. Ausländische Bieter haben gleichwertige Nachweise ihrer zuständigen Heimatbehörden vorzulegen. Diese sind zusätzlich in einer deutschen Übersetzung beizufügen.

Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen:

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦

Werkzeugmaschinen für besondere Zwecke 📦

Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Universität Siegen Graphen-basierte Nanotechnologie Adolf-Reichwein-Straße 28 (INCYTE) 57076 Siegen

Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Postleitzahl: 57076
Stadt: Siegen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Siegen-Wittgenstein 🏙️
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Qualitative Kriterien gemäß der Vergabeunterlagen B1.1 bis B1.15
Qualitätskriterium (Gewichtung): 67.0
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 33.0
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-08 11:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-08 11:01:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): elektronische Vergabeplattform des Landes Nordrhein-Westfalen (VMP-NRW).
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Informationen über die befugten Personen und das Öffnungsverfahren):

VMP-NRW-legitimiertes Personal des Auftraggebers erhalten im Vier-Augen-Verfahren mit Zeitpunkt des Fristablaufes Zugang zu den Angeboten.

Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 6 Wochen
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-05-08 11:01:00 📅
Ort des Eröffnungstermins: elektronische Vergabeplattform des Landes Nordrhein-Westfalen (VMP-NRW).
Zusätzliche Informationen:

VMP-NRW-legitimiertes Personal des Auftraggebers erhalten im Vier-Augen-Verfahren mit Zeitpunkt des Fristablaufes Zugang zu den Angeboten.

Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-05-01 23:59:59 📅
Zusätzliche Informationen:

Die Nachforderungsmöglichkeit von Unterlagen richtet sich nach den Regelungen des § 56 VgV.

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Punkte, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Anteil der Unterauftragsvergabe
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

ALLGEMEINER HINWEIS: Soweit lediglich Eigenerklärungen gefordert werden, behält sich der Auftraggeber das Recht vor, zur Behebung von Zweifeln entsprechende Bescheinigungen oder Nachweise von den Bietern nachzufordern. Kopien von Nachweisen werden anerkannt, sofern sie keinen Anlass zu Zweifeln an der Übereinstimmung mit dem Original geben. Bitte reichen Sie unbedingt die Nachweise und Erklärungen in der hier angegebenen Reihenfolge ein! Sollten die geforderten Erklärungen oder Nachweise unvollständig oder unzureichend sein, kann der Bieter von dem weiteren Verfahren ausgeschlossen werden! Ein Bieter kann nicht darauf vertrauen, dass der Auftraggeber Gelegenheit zur Ergänzung oder Vervollständigung gibt, das Recht hierzu behält er sich jedoch vor. Sofern sich der Bieter auf die Eignung anderer Unternehmen (im Rahmen einer Bietergemeinschaft oder bzgl. Nachunternehmer) beruft, sind die jeweiligen Erklärungen und Nachweise (insb. Eigenerklärungen und Referenzen) durch dieses oder diese Unternehmen zu führen. Der Bieter/ die Bietergemeinschaft hat außerdem bei Aufforderung durch den Auftraggeber noch vor Zuschlagserteilung eine Verpflichtungserklärung des oder der jeweiligen Nachunternehmer(s) beizubringen. Weiter behält der Auftraggeber sich vor, auch von den Unternehmen, die zwar Nachunternehmer einsetzen, sich jedoch nicht zum Nachweis der Leistungsfähigkeit und Fachkunde auf die Nachunternehmer beziehen, vor Zuschlagserteilung die entsprechenden Nachweise zur Zuverlässigkeit, Fachkunde und Leistungsfähigkeit der Nachunternehmer und ggf. eine Verpflichtungserklärung einzuholen. Die geforderten Nachweise sind von dem Bieter bzw. den Mitgliedern der Bietergemeinschaft jeweils gesondert vorzulegen. Alle Nachweise sind mit dem Angebot vorzulegen; fehlende Nachweise können vom Auftraggeber nachgefordert werden. Ausländische Bewerber haben gleichwertige Nachweise der für sie zuständigen Behörde/Institution ihres Heimatlandes beizubringen. Zusätzlich sind diese ins Deutsche zu übersetzen.

Sofern eine Teilnahme als Bietergemeinschaft beabsichtigt ist, hat die Bietergemeinschaft in ihrem Angebot eine Erklärung abzugeben, in der alle Mitglieder der Bietergemeinschaft und der für die Durchführung des Vertrages rechtskräftig bevollmächtigte Vertreter benannt werden (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung). Darüber hinaus ist zu erklären, dass alle Mitglieder der Bietergemeinschaft dem Auftraggeber als Gesamtschuldner haften (formloses Schreiben durch die Vertreter aller Mitglieder der Bietergemeinschaft unterschrieben (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung ggfs. formlose Eigenerklärung). Wenn ein Bieter für Leistungen Nachunternehmer einsetzen will und sich auch auf die Eignung eines Nachunternehmers berufen will (Eignungsleihe) ist Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung Nachunternehmer zu verwenden. Zusätzlich sind die konkret nach Maßgabe dieser Bekanntmachung erforderlichen Eignungsnachweise für den Nachunternehmer vorzulegen.

Eignungskriterium: Berufliche Risikohaftpflichtversicherung
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Eigenerklärung, dass der Bewerber eine Betriebshaftpflichtversicherung mit einer Mindestdeckungssumme in Höhe von 1.000.000 EUR je Schadensfall für Personenschäden und in Höhe von jeweils 1.000.000 EUR je Schadensfall für Vermögens- und Sachschäden bzw. im Auftragsfall unverzüglich abschließen wird. (Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung)

Eignungskriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Erklärung über den Gesamtumsatz in den letzten 3 Geschäftsjahren (Geschäftsjahre 2023, 2024, 2025) und über den Umsatz für den Bereich der ausgeschriebenen Aufgabenbereiche für die genannten Geschäftsjahre. (Vordruck 04-WIS25E1OV-Eigenerklärung).

Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Bitte geben Sie drei Referenzkunden aus den letzten 5 Jahren an, bei denen Sie bereits Leistungen in ähnlicher technischer Ausführung und Größenordnung erbracht haben. (Die Angaben sind zwingend. Mit einem Hinweis auf den Datenschutz können die Angaben nicht verweigert werden. Der Bieter ist für die Rechtmäßigkeit der Datenweitergabe verantwortlich.) (Vordruck 04-WIS25E1OV Eigenerklärung)

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Wesentliche Zahlungsbedingungen: Die Universität Siegen darf Vorauszahlungen bzw. Anzahlungen nur gegen Vorlage einer selbstschuldnerischen Bankbürgschaft leisten. Die Bürgschaft muss selbstschuldnerisch und unter Verzicht auf die Einreden der Anfechtung, Aufrechenbarkeit und der Vorausklage von einer Bank innerhalb der Europäischen Union ausgestellt sein. Die Dauer der Bankbürgschaft muss dabei unbefristet oder auf einen Zeitpunkt befristet sein, der mindestens drei Monate nach dem vom Bieter zugesagten Lieferzeitpunkt liegt. In letzterem Fall ist ein Lieferdatum zwingend anzugeben. Die Rückgabe der Anzahlungsbürgschaft erfolgt nach der vollständigen Lieferung. Der Auftragnehmer wird spätestens 14 Tage vor Ablauf der Bankbürgschaft unaufgefordert eine neue gleichartige Bankbürgschaft bei der Universität Siegen vorlegen, falls die vollständige Abnahme noch nicht erfolgt ist. Andernfalls wird die Universität Siegen die auslaufende Bankbürgschaft in Anspruch nehmen.

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Universität Siegen
Nationale Registrierungsnummer: DE 154854171
Postanschrift: Adolf-Reichwein-Str. 2a
Postleitzahl: 57076
Postort: Siegen
Region: Siegen-Wittgenstein 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Vergabestelle
E-Mail: ausschreibungen@zv.uni-siegen.de 📧
Telefon: +49 271740-4867 📞
Fax: +49 271740-14918 📠
URL: https://www.uni-siegen.de/start/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY56DV7W/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY56DV7W 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.evergabe.nrw.de/VMPSatellite/notice/CXPNY56DV7W 🌏
Name: Kommunikationsportal des Vergabemarktplatzes NRW
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXPNY56DV7W#
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Westfalen bei der Bezirksregierung Münster
Nationale Registrierungsnummer: 05515-03004-07
Postanschrift: Albrecht-Thaer-Str. 9
Postleitzahl: 48128
Postort: Münster
Region: Münster, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@bezreg-muenster.nrw.de 📧
Telefon: +49 251411-1691 📞
Fax: +49 251411-2165 📠
URL: https://www.bezreg-muenster.de/de/wirtschaft_finanzen_kommunalaufsicht/vergabekammer_westfalen/index.html 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Statthafte Rechtsbehelfe sind gem. §§ 160 ff. GWB die Rüge sowie der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens vor der zuständigen Vergabekammer. Eine Rüge ist an die Vergabestelle zu richten. Eine Rüge bzw. der Antrag auf Einleitung eines Nachprüfungsverfahrens ist unzulässig, soweit - der Antragsteller den geltend gemachten Verstoß gegen Vergabevorschriften vor Einreichen des Nachprüfungsantrags erkannt und gegenüber dem Auftraggeber nicht innerhalb einer Frist von zehn Kalendertagen gerügt hat; der Ablauf der Frist nach § 134 Absatz 2 bleibt unberührt, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden, - Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, nicht spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden oder - mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind. Satz 1 gilt nicht bei einem Antrag auf Feststellung der Unwirksamkeit des Vertrags nach § 135 Absatz 1 Nummer 2. § 134 Absatz 1 Satz 2 bleibt unberührt.

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-04-07+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 068-239082 (2026-04-07)

Auftragsbekanntmachung (2026-04-21)
Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-22 11:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-22 11:01:00 📅
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Eröffnungstermin: 2026-05-22 11:01:00 📅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-05-15 23:59:59 📅

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-04-21+02:00 📅

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: PROCEDURE
Neuer Wert
Text:

Die Angebotsfrist wurde um zwei Wochen vom 08.05.2026, 11:00 Uhr auf den 22.05.2026, 11:00 Uhr verlegt.

Andere zusätzliche Informationen

Die Verlängerung der Angebotsfrist wurde bieterseitig angefragt. Es wurde glaubhaft vorgetragen, dass es durch bieterseitig nicht verschuldete (technische) Umstände mit sehr hoher Wahrscheinlichkeit nicht möglich ist, ein Gebot innerhalb der ursprünglich anberaumten Frist verfahrenswirksam abzugeben. Vor dem Hintergrund des allgemeinen Gleichbehandlungsgrundsatzes bzw. des Nichtdiskriminierungsgebotes einem einzelnen Unternehmer gegenüber ist diese Maßnahme im Lichte der Verhältnismäßigkeit ein angemessenes und geeignetes Mittel, den Wettbewerb einerseits bestmöglich aufrecht zu erhalten, ohne dabei die übrigen potentiellen Bieter andererseits erkennbar zu benachteiligen.

Hauptgrund für die Änderung: Aktualisierte Informationen
Angaben zu Änderungen
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: 37dc88d6-8525-478b-abe4-2e6fca529650-01
Quelle: OJS 2026/S 078-274500 (2026-04-21)

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