Deposition Tool 8 Inch

Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM

The Technical University of Munich - Chair of Technical Physics E23/WMI will acquire a UHV cluster System for the fabrication of superconducting circuits on 8 inch'' wafers. The system must provide UHV conditions and has to include an HV load-lock chamber, a central handling chamber, a UHV chamber for the evaporation of Al thin films, a UHV chamber for sputtering of superconductors, a UHV chamber for oxidation, a UHV chamber for Ar ion milling, and a flipping station. The system must allow metalizing both sides of the wafers in situ, with minimal backside particle contamination. The wafers should only be touched on the side (edge gripping).

Deadline

Deadline 2026-10-05

Wer?

• Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM

Wie?

Wo?

• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Landkreis

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-08-20	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-08-20)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Deposition Tool 8 Inch
Referenznummer: TUM-E23-2026-01
Kurze Beschreibung:

Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung: TUM-E23-2026-01
Beschreibung der Beschaffung: siehe Leistungsbeschreibung.
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Postanschrift: Walther-Meissner-Str. 8
Postleitzahl: 85748
Stadt: Garching
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: München, Landkreis 🏙️
Dauer des Qualifizierungssystems
Unbestimmte Dauer ✅
Informationen zu elektronischen Katalogen
Die Angebote müssen in Form von elektronischen Katalogen eingereicht werden oder einen elektronischen Katalog enthalten
Informationen über Varianten
Es werden Varianten akzeptiert ✅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Siehe Vergabeunterlagen
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0001

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-10-05 12:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-10-05 12:01:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 4 Wochen
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-10-05 12:01:00 📅
Elektronischer Katalog: Erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-09-28 23:59:59 📅
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung: siehe Vergabeunterlagen.
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 18 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Lehrstuhl für Technische Physik E23, TUM
Nationale Registrierungsnummer: DE811193231
Postanschrift: Walther-Meißner-Str. 8
Postleitzahl: 85478
Postort: Garching
Region: München, Landkreis 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: LS für Technische Physik, Walther-Meißner-Institut
E-Mail: sekretariat@wmi.badw.de 📧
Telefon: +49 8928914442 📞
Fax: +49 8928914206 📠
URL: https://www.wmi.badw.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8M7XK/documents 🌏
Teilnahme-URL: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8M7XK 🌏
URL des Beschaffungsinstruments: https://www.dtvp.de/Satellite/notice/CXP4YZ8M7XK 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich

Ergänzende Informationen
Zusätzliche Informationen
#Bekanntmachungs-ID: CXP4YZ8M7XK#
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Regierung von Oberbayern - Vergabestelle Südbayern
Nationale Registrierungsnummer: DE811335517
Postanschrift: Maximilianstraße 39
Postleitzahl: 80538
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Zentrale Vergabestelle, IuK
E-Mail: vergabekammer.suedbayern@reg-ob.bayern.de 📧
Telefon: +49 892176-2411 📞
Fax: +49 892176-2847 📠
URL: https://www.regierung.oberbayern.bayern.de/ 🌏
Körper überprüfen
Wie: Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-08-20+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 161-579224 (2026-08-20)

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