DUV scanner - PR398854-2480-W

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

DUV scanner

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-08-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-07-12.

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte

Wo?

• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt
• Sachsen › Dresden

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2023-07-12	Auftragsbekanntmachung
2023-11-30	Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Auftragsbekanntmachung (2023-07-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Referenznummer: PR398854-2480-W
Kurze Beschreibung: DUV scanner
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Englisch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Dresden 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
URL der Dokumente: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-188fbc22605-20fb82c4ce586348 🌏
URL der Teilnahme: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-07-12 📅
Einreichungsfrist: 2023-08-11 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-07-17 📅
Datum des Beginns: 2023-09-01 📅
Datum des Endes: 2025-12-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 135-430152
ABl. S-Ausgabe: 135

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:

A system is being purchased that exposes silicon wafers with a diameter of 300mm using a 248nm laser and mask and is intended to transfer the image on the mask to a resist mask by reducing it 4:1. The system should expose individual and dense structures with a defined resolution of ≤110nm and the bearing offset should be ≤9nm. In combination with a TRACK (cluster/inline operation), wafers are processed for both research and industrial purposes

Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:

Fraunhofer IPMS CNT

An der Bartlake 5

01109 Dresden

Deutschland

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-188fbc22605-20fb82c4ce586348

Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-188fbc22605-20fb82c4ce586348

Technische und berufliche Fähigkeiten:

Directlink to documents with Selection criteria: (URL) https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/SelectionCriteria/54321-Tender-188fbc22605-20fb82c4ce586348

Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

In the event that subcontractors are used, they must be named and their suitability is likewise to be substantiated on the basis of the listed documents under III.1). Furthermore, it must be confirmed that they will be available if the order is placed; their share in the scope of the contractual object must be stated.

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 09:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-11-30 📅

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Research Society e. V.
Kontakt
Kontaktperson: Corporate Procurement - Scientific Equipment
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-188fbc22605-20fb82c4ce586348 🌏

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:

Applications for review are not permitted if more than 15 calendar days have passed since receipt of notification from the contracting authority that it is unwilling to redress an objection (section 160 (3) sentence 1 no. 4 of the German Competition Act (Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen, GWB)). Additionally, applications for review are not permitted if an award has been made before the public procurement tribunal has informed the contracting authority about the application for review (sections 168 (2) sentence 1 and 169 (1) GWB). Contracts may be awarded 15 calendar days after the tenderer information pursuant to section 134 (1) GWB has been sent. If the information is sent electronically or by fax, the period shall be reduced to ten calendar days (section 134 (2) GWB). The period shall begin on the day after which the contracting authority sends the information; the date of receipt by the tenderer and candidate in question shall be irrelevant. The admissibility of a review application also requires that the applicant notified the contracting authority about the claimed violations of public procurement provisions within ten calendar days of becoming aware of them (section 160 (3) sentence 1 no. 1 GWB). Violations of public procurement provisions which become apparent from the tender notice must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender specified in the notice (section 160 (3) sentence 1 no. 2 GWB). Violations of public procurement provisions which only become apparent from the procurement documents must be notified to the contracting authority by the end of the time limit for the application or the submission of a tender (section 160 (3) sentence 1 no. 3 GWB).

Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Internetadresse: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2023/S 135-430152 (2023-07-12)

Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-11-30)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: DUV-Scanner - PR398854-2480-W
Referenznummer: PR398854-2480-W
Kurze Beschreibung: DUV-Scanner
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:

Ausgeschrieben wird eine Anlage die Siliziumwafer mit einem Durchmesser von 300mm mittels 248nm Laser und Maske belichten und dabei das Abbild auf der Maske mittels 4:1 Verkleinerung in eine Lackmaske übertragen soll. Die Anlage soll einzelne und dichte Strukturen mit einer Auflösung ≤110nm definiert belichten und der Lagerversatz soll ≤9nm betragen. In Kombination mit einem TRACK (Cluster/Inline Betrieb) werden Wafer sowohl für Forschungs-, als auch industrielle Zwecke prozessiert

Zusätzliche Informationen: FMD-QNC Investprojekt
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Dresden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Endes: 2025-12-31 📅
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technische Ausführung
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Verhandlungsverfahren mit vorherigem Aufruf zum Wettbewerb ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)

Auftragsvergabe
Informationen über nicht gewährte Zuschüsse
Es sind keine Angebote oder Teilnahmeanträge eingegangen oder alle wurden abgelehnt
Grund, warum kein Gewinner ausgewählt wurde: Alle Angebote, Teilnahmeanträge oder Projekte wurden zurückgezogen oder als unzulässig abgelehnt.
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Nationale Registrierungsnummer: DE129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf - Wissenschaftliche Geräte
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +498912050 📞
URL: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
Federführendes Mitglied ✅
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +4922894990 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Nationale Registrierungsnummer: DE129515865
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Telefon: +498912050 📞
URL: https://www.fraunhofer.de 🌏
Quelle: OJS 2023/S 232-731491 (2023-11-30)

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