Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
DeadlineDeadline 2026-06-17
Wer? Wie?- • Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2026-05-12 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2026-05-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Referenznummer:
Kurze Beschreibung: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
Titel: Lieferung, Installierung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-beam-System).
Menge: 1 Stück
Beschreibung der Beschaffung:
Ziel der strategischen Auftragsvergabe: Innovative Beschaffung
Die Verwendung von Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen in den technischen Spezifikationen: Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. (KSI Meinsberg)
Postleitzahl: 04736
Stadt: Waldheim
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Mittelsachsen 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-05-12 📅
Datum des Endes: 2026-12-21 📅
Beschreibung
Maximale Verlängerungen: 0
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Die Vorgaben sind im Leistungsverzeichnis enthalten.
Titel
Los-Identifikationsnummer:
Beschreibung
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. Kurt-Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim / Germany
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Zentrale Elemente des Verfahrens: EU Ausschreibung
Rechtsgrundlage: Sächsische Vergabeordnung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-06-17 20:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-06-18 08:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): KSI Meinsberg
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 3 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2026-06-18 08:00:00 📅
Ort des Eröffnungstermins: KSI Meinsberg
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen: entfällt
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Begründung der Verfahrenswahl: Alle Unterlagen sind über www.evergabe.de elektronisch einzureichen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Der Auftragnehmer muss die gewünschten Vorgaben erfüllen.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Teilzahlungen sind gegen Bankbürgschaft möglich.
Verfahren
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
Ausschlussgrund: Einstellung der gewerblichen Tätigkeit
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Nationale Registrierungsnummer:
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Straße 4
Postleitzahl: 04736
Postort: Waldheim
Region: Mittelsachsen 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
E-Mail: ulrich.rant@ksi-sensors.de 📧
Telefon: 034327608 150 📞
Fax: 034327 608131 📠
URL: www.ksi-sensors.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: www.evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf/zustellweg-auswaehlen 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf/zustellweg-auswaehlen 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Wie: Name und Adressen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: entfällt
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-05-12+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 092-328405 (2026-05-12)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Referenznummer:
2026-1
Kurze Beschreibung: Lieferung einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-Beam-System)
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
LOT-0001
Titel: Lieferung, Installierung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-beam-System).
Menge: 1 Stück
Beschreibung der Beschaffung:
Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber ein definiertes Elektronenstrahl-Lithografiesystem zur hochauflösenden Strukturierung von Mikro- und Nanostrukturen. Eine genaue Beschreibung ist dem Leistungsverzeichnis zu entnehmen.
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Der Auftragnehmer liefert, installiert und übergibt dem Auftraggeber nach Inbetriebnahme ein Elektronenstrahl-Lithografiesystem, welches in dem angefügten Leistungsverzeichnis genauer beschrieben ist.
Innovationsfördernde Auftragsvergabe: Die erbrachten Bauleistungen, Dienstleistungen oder gelieferten Güter beinhalten Produktinnovationen.
Die Verwendung von Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen in den technischen Spezifikationen: Zugänglichkeitskriterien für Menschen mit Behinderungen wurden berücksichtigt
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. (KSI Meinsberg)
Postleitzahl: 04736
Stadt: Waldheim
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Mittelsachsen 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-05-12 📅
Datum des Endes: 2026-12-21 📅
Beschreibung
Maximale Verlängerungen: 0
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Die Vorgaben sind im Leistungsverzeichnis enthalten.
Titel
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Beschreibung
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V. Kurt-Schwabe-Straße 4
Stadt: Waldheim / Germany
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Zentrale Elemente des Verfahrens: EU Ausschreibung
Rechtsgrundlage: Sächsische Vergabeordnung
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-06-17 20:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-06-18 08:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): KSI Meinsberg
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 3 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Eröffnungstermin: 2026-06-18 08:00:00 📅
Ort des Eröffnungstermins: KSI Meinsberg
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen: entfällt
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Begründung der Verfahrenswahl: Alle Unterlagen sind über www.evergabe.de elektronisch einzureichen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Der Auftragnehmer muss die gewünschten Vorgaben erfüllen.
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Teilzahlungen sind gegen Bankbürgschaft möglich.
Verfahren
Anzuwendende grenzübergreifende Rechtsvorschrift:
Lieferung, Installierung und Inbetriebnahme einer Elektronenstrahl-Lithografieanlage (E-beam-System)
Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund: Einstellung der gewerblichen Tätigkeit
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
Nationale Registrierungsnummer:
VR 5308
Postanschrift: Kurt-Schwabe-Straße 4
Postleitzahl: 04736
Postort: Waldheim
Region: Mittelsachsen 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Kurt-Schwabe-Institut für Mess- und Sensortechnik Meinsberg e.V.
E-Mail: ulrich.rant@ksi-sensors.de 📧
Telefon: 034327608 150 📞
Fax: 034327 608131 📠
URL: www.ksi-sensors.de 🌏
Adresse des Käuferprofils: www.evergabe.de 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf/zustellweg-auswaehlen 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/019e0178-f4b2-4d65-9d09-68ed63f910bf/zustellweg-auswaehlen 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Wie: Name und Adressen
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren: entfällt
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-05-12+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 092-328405 (2026-05-12)
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