maskenloses UV-Direktlithographie-System
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen. Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2
DeadlineDeadline 2026-06-25
Wer? Wie? Wo?- • Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
- • Thüringen › Jena, Kreisfreie Stadt
- • Thüringen › Weimar, Kreisfreie Stadt
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2026-05-21 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2026-05-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: maskenloses UV-Direktlithographie-System
Referenznummer:
Kurze Beschreibung:
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
Beschreibung der Beschaffung:
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Kriterium:
Titel
Los-Identifikationsnummer:
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-06-25 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-06-25 10:05:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 1 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-06-25 10:05:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen:
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Eignungskriterium: Allgemeiner Jahresumsatz
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Kauf auf Rechnung, 30 Tage Zahlungsziel
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe:
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Nationale Registrierungsnummer:
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
Telefon: 000 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=862255 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=862255 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Nationale Registrierungsnummer:
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de 📧
Telefon: 0361 57332 1254 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-05-21+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 098-351798 (2026-05-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: maskenloses UV-Direktlithographie-System
Referenznummer:
EU-OV/2026-91
Kurze Beschreibung:
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen.
Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2
Mehr anzeigen
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
EU-OV/2026-91
Beschreibung der Beschaffung:
Beschafft werden soll ein kompaktes, für den Reinraumeinsatz geeignetes Tischsystem zur maskenlo-sen UV-Direktlithographie für Forschung, Entwicklung und Kleinserien-Prototyping. Das System muss sowohl eine rasterbasierte Vollflächenbelichtung als auch einen zusätzlichen vektorbasierten Direkt-belichtungsmodus bereitstellen, um hochauflösende Mikro- und Nanostrukturen, Ausbesserungen bestehender Strukturen sowie konturtreue Linienbelichtungen auf unterschiedlichsten Substraten zu ermöglichen.
Daraus ergeben sich folgende Mindestanforderungen: siehe Anlage 2.
Mehr anzeigen
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Kriterium:
1) Gesamtangebotspreis (netto; ohne Berücksichtigung von bedingten Rabatten, wie z. B. Skonto; soweit der Auftraggeber im Rahmen der Lieferung Einfuhrabgaben (Zollgebühren) zu entrichten hat, werden diese Kosten bei der Wertung berücksichtigt).
Eine Vorauszahlung gegen Bankbürgschaft in Höhe des Bruttoauftragswertes wird vereinbart. Die Kosten sind einzukalkulieren und werden nicht vergütet. Anforderung: siehe Vergabeunterlagen.
Mehr anzeigen
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-06-25 10:00:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-06-25 10:05:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 1 Monate
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-06-25 10:05:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Zusätzliche Informationen:
Erfüllt das angebotene Produkt die Anforderungen der Ausschreibung nicht, so ist das Angebot von der Wertung auszuschließen. Die Erfüllung/Einhaltung der gestellten
Mindestanforderungen muss aus dem Angebot oder dessen Anlagen (Datenblätter, zusichernde Eigenerklärungen etc.) ersichtlich sein.
Sofern einzelne geforderte Leistungsparameter aus den Dokumentationen im Angebot nicht eindeutig und nachvollziehbar hervorgehen, und diese Informationen auch nicht nach ggfs. erfolgtem Aufklärungsgesuch des Auftraggebers eingereicht werden, führt dies zum Wertungsausschluss des Angebotes.
Eigenerklärungen:
• Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)
• Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022 (Anlage 4.2)
• Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 123 GWB (Anlage 5)
• Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen gemäß § 124 GWB (Anlage 6)
• Eigenerklärung zum Thüringer Vergabegesetz gemäß § 8 Abs. 1 S. 1 (Anlage 7)
Liegen die Erklärungen und Nachweise innerhalb der benannten Frist nicht vollständig vor, wird das Angebot ausgeschlossen (§ 12a ThürVgG).
Mehr anzeigen
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
• Unternehmensdarstellung
o Allgemeine Unternehmensdarstellung
o Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
o Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den Auftraggeber betreuen würde)
o Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse
o Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige
o Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
• Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist
Mehr anzeigen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
#Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte der letzten drei Jahre) sowie den Umsätzen des im Rahmen der Ausschreibung maßgeblichen Geschäftsbereiches.
350.000 EUR im benannten Geschäftsbereich umgesetzt haben.
#Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung einschließlich der Angabe der Deckungssummen.
Mindestanforderung: Die Betriebshaftpflichtversicherung hat mindestens folgende Deckungssummen (bei mindestens zweifacher Maximierung je Versicherungsjahr) pro Schadensfall aufzuweisen: Personenschäden: 1.000.000 €, Sach- und Umweltschäden 500.000 €, Vermögensschäden 100.000 €. Sollte die Betriebshaftpflichtversicherung die vorgenannten Deckungssummen derzeit nicht erreichen oder noch keine Betriebshaftpflichtversicherung abgeschlossen sein, so ist der Bieter verpflichtet, im Falle der Zuschlagserteilung die Deckungssummen entspre-chend zu erhöhen bzw. abzuschließen.
Mehr anzeigen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
#Nachweis vergleichbarer Referenzaufträge
Zur Feststellung der technisch-beruflichen Leistungsfähigkeit hat der Bieter drei(3) Referenzaufträge der letzten 5 Geschäftsjahre mit dem Angebot vorzulegen. Der jeweilige Referenzauftrag muss mit der im vorliegenden Ausschreibungsverfahren zu vergebender Leistung inhaltlich und vom Komplexitätsgehalt (= Leistungsanforderungen gemäß Anlage 2) mindestens vergleichbar sein. Nur vergleichbare Referenzen können im Rahmen der Eignungsprüfung berücksichtigt werden.
Die Referenzen müssen mindestens die folgenden Angaben enthalten:
Name des Unternehmens (Referenzgeber)
Ansprechpartner beim Referenzgeber (Name, Telefon, E-Mail)
Art der ausgeführten Leistung
Ausführungszeitraum / Vertragslaufzeit
Die o.g. Referenzangaben sind mit dem Angebot vorzulegen.
Mehr anzeigen
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe:
Der Angebotsausschluss erfolgt gemäß §§ 123, 124 GWB, §§ 56, 57 VgV sowie Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8. April 2022. Angebote, die die in der Leistungsbeschreibung geforderten Mindestspezifikationen/-forderungen nicht erfüllen, werden ebenfalls von der Wertung ausgeschlossen. Zur ordnungsgemäßen Bearbeitung der Ausschreibung sind schriftliche Erklärungen und Nachweise des Anbieters erforderlich. Auf Kapitel 5.1.9 dieser Bekanntmachung wird zusätzlich hingewiesen.
Mehr anzeigen
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Nationale Registrierungsnummer:
DE150546536
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
Telefon: 000 📞
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdocuments.html?id=862255 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=862255 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Nationale Registrierungsnummer:
11111
Postleitzahl: 99423
Postort: Weimar
Region: Weimar, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@tlvwa.thueringen.de 📧
Telefon: 0361 57332 1254 📞
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
Informationspflicht, Rügen und Nachprüfungen
Die Vergabestelle informiert den/die Bieter, dessen/deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, in der von ihr in der Bekanntmachung oder den Vergabeunterlagen bestimmten Form. Spätestens zehn Kalendertage vor dem beabsichtigten Vertragsabschluss informiert die Vergabestelle den/die unterlegenen Bieter über den Namen des Bieters, dessen Angebot angenommen werden soll, über die Gründe der vorgesehenen Nichtberücksichtigung ihres Angebotes und den frühestmöglichen Zeitpunkt der Zuschlagserteilung. Die Vergabestelle bestimmt eine mindestens zehn Tage betragende Frist, in der eine mögliche Beanstandung / Rüge vorzubringen ist.
Die Beanstandungen / Rügen sind schriftlich zu übermitteln an:
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Abteilung Einkauf
07743 Jena
Zulässig sind Beanstandungen und Rügen ausschließlich per E-Mail an:
vergabestelle@uni-jena.de
Beanstandungen und Rügen sind dabei klar als diese zu benennen und zu kennzeichnen.
Rügen
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (per E-Mail) an die Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von 15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen kann.
Stelle für Nachprüfungsverfahren
Zur Nachprüfung behaupteter Verstöße gegen Vergabebestimmungen kann sich der Bieter an nachfolgende Vergabekammer wenden:
Vergabekammer
beim Thüringer Landesverwaltungsamt
Jorge-Semprún-Platz 4
99423 Weimar
Vorsorglich möchten wir auf die Kostenfolge nach § 14 Abs. 5 ThürVgG für Nachprüfungsverfahren hinweisen.
Mehr anzeigen
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-05-21+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 098-351798 (2026-05-21)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)
- Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen (18)
- Bewertungs- und Testinstrumente (4)
- Geologische und geophysikalische Instrumente (4)
- Instrumente zum Prüfen von physikalischen Eigenschaften (>20)
- Messinstrumente (6)
- Navigationsinstrumente und meteorologische Instrumente (1)
- Optische Instrumente (14)
- Registrieruhren und dergleichen; Parkuhren
- Steuerungs- und Fernsteuerungsgeräte für Industrieprozesse