Metalltrockenätzer
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Auftragsgegenstand, CPA-Nummer: CPV: 22520000. 1 Metalltrockenätzer. FhG IIS-B, Abteilung Halbleitertechnologie. Strukturierung von metallischen Schichten, diese sind AlSiCu, Ti, TiN. ICP-Ätzkammer (kompatibel nach dem MESC-Standard), ICP-Quelle und Steuerung, RF-Generator (1 kW, 13,56 MHz) und Matching Unit, RF-Generator (300/30 W, 13,56 MHz) und Matching Unit, Phase Lock Unit für zwei 13,56 MHzPSUs, Temperaturkontrolle für die Elektroden, Mechanische Scheibenhalterung mit Helium-Rückseitenkühlung, fünf Gaslinien für folgende Gase Ar, O2, Cl2, HBr, eine freie Gaslinie, Gasliniensteuerung, Turbomolekularpumpe, Trockenläuferpumpe, optisches Endpunkterkennungssystem. Spezifikation (im Bezug auf 150 mm Siliziumscheiben): Aluminiumätzrate: >0,3 ìm/min, Homogenität (bzgl. ± 5 %, Homogenität (bzgl. ± 5 %, Selektivität zu Photolack: 2:1, Selektivität zu TEOS (SiO2: 10:1, Ätzprofil: 85°-90°, Photolackentfernung: Lackveraschung mittels Sauerstoffplasma, Endpunktdetektion: automatische Erkennung (optisch). Anschluss an das bereits vorhandene Handlersystem von der Firma ASYS (Grauraumfinger).
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2001-07-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2001-06-23.
Wer? Wie?- • Druckplatten oder Druckwalzen oder andere Träger zur Verwendung bei Druckarbeiten › Trockenätzausrüstung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2001-06-20 | Auftragsbekanntmachung |
| 2001-10-01 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Metalltrockenätzer
Volltext:
“Auftragsgegenstand, CPA-Nummer: CPV: 22520000. 1 Metalltrockenätzer. FhG IIS-B, Abteilung Halbleitertechnologie. Strukturierung von metallischen Schichten,...”
Ort der Leistung
Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ausschreibung
Art des Auftrags: Gemischter Auftrag
Verordnung: Europäische Gemeinschaften
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Verfahren
Verfahrensart: Beschleunigte, nicht offene Verfahren
Vergabekriterien
Nicht definiert
Angebotsart: Nicht definiert
Art des öffentlichen Auftraggebers: Körperschaften
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Land: Deutschland 🇩🇪
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2001-06-23 📅
Empfangsdatum: 2001-06-20 📅
Absendedatum: 2001-06-20 📅
Einreichungsfrist: 2001-07-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 81199-2001
ABl. S-Ausgabe: 119/2001
Objekt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Trockenätzausrüstung 📦
Quelle: OJS 2001/S 119-081199 (2001-06-20)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Vergebene Aufträge
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Verfahren
Verfahrensart: Vergebene Aufträge
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Angebotsart: Gesamtangebot
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2001-10-06 📅
Empfangsdatum: 2001-10-01 📅
Absendedatum: 2001-09-28 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 131392-2001
ABl. S-Ausgabe: 193/2001
Verweist auf Bekanntmachung: 81199-2001
Objekt
Zuschlagsdetails
Erteilter Auftrag: Auftragnehmer: Surface Technology, UK-Newport.
Quelle: OJS 2001/S 193-131392 (2001-10-01)