Optische CD und Overlay Messgerät. Es soll eine vollautomatische Anlage (Cassette to Cassette mit Bilderkennung) zur CD (Critical Dimension) und Overlay Messung in Photolack oder geätzten Strukturen mit Schichtdicken im Bereich von 5 nm bis 30 μm zur Mikrostrukturierung von MEMS auf 200 mm Silizium-Wafern beschafft werden. Minimale Strukturbreiten von 0.5 μm sollen mit 10 nm Genauigkeit gemessen und die Fehljustierung auf 5 nm genau bestimmt werden. Erwünscht ist eine Kombination aus CD und Overlay Messung mit hochauflösendem Lichtmikroskop. In den Meßrezepten soll es möglich sein, pro Messstelle CD und Overlay gemeinsam zu messen und abzuspeichern. Gebrauchte Anlagen sind akzeptabel.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2010-05-26.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2010-05-15.
Auftragsbekanntmachung (2010-05-11) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Oberflächen-Messgeräte
Volltext:
“Optische CD und Overlay Messgerät. Es soll eine vollautomatische Anlage (Cassette to Cassette mit Bilderkennung) zur CD (Critical Dimension) und Overlay...”
Volltext
Optische CD und Overlay Messgerät. Es soll eine vollautomatische Anlage (Cassette to Cassette mit Bilderkennung) zur CD (Critical Dimension) und Overlay Messung in Photolack oder geätzten Strukturen mit Schichtdicken im Bereich von 5 nm bis 30 μm zur Mikrostrukturierung von MEMS auf 200 mm Silizium-Wafern beschafft werden. Minimale Strukturbreiten von 0.5 μm sollen mit 10 nm Genauigkeit gemessen und die Fehljustierung auf 5 nm genau bestimmt werden. Erwünscht ist eine Kombination aus CD und Overlay Messung mit hochauflösendem Lichtmikroskop. In den Meßrezepten soll es möglich sein, pro Messstelle CD und Overlay gemeinsam zu messen und abzuspeichern. Gebrauchte Anlagen sind akzeptabel.
Mehr anzeigen Ort der Leistung Duisburg, Kreisfreie Stadt🏙️ Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Verordnung: Europäische Gemeinschaften
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Verfahren
Verfahrensart: Beschleunigtes Verhandlungsverfahren
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Angebotsart: Gesamtangebot
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit: Sonstiges
Öffentlicher Auftraggeber Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Land: Deutschland 🇩🇪 Kontakt
Internetadresse: einkauf@zv.fraunhofer.de📧