Oberflächen-Messgeräte
Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Optische CD und Overlay Messgerät. Es soll eine vollautomatische Anlage (Cassette to Cassette mit Bilderkennung) zur CD (Critical Dimension) und Overlay Messung in Photolack oder geätzten Strukturen mit Schichtdicken im Bereich von 5 nm bis 30 μm zur Mikrostrukturierung von MEMS auf 200 mm Silizium-Wafern beschafft werden. Minimale Strukturbreiten von 0.5 μm sollen mit 10 nm Genauigkeit gemessen und die Fehljustierung auf 5 nm genau bestimmt werden. Erwünscht ist eine Kombination aus CD und Overlay Messung mit hochauflösendem Lichtmikroskop. In den Meßrezepten soll es möglich sein, pro Messstelle CD und Overlay gemeinsam zu messen und abzuspeichern. Gebrauchte Anlagen sind akzeptabel.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2010-05-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2010-05-15.
Wer? Wie? Wo?| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2010-05-11 | Auftragsbekanntmachung |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Oberflächen-Messgeräte
Volltext:
Duisburg, Kreisfreie Stadt 🏙️
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Verordnung: Europäische Gemeinschaften
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Verfahren
Verfahrensart: Beschleunigtes Verhandlungsverfahren
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Angebotsart: Gesamtangebot
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit: Sonstiges
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontakt
Internetadresse: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2010-05-15 📅
Absendedatum: 2010-05-11 📅
Einreichungsfrist: 2010-05-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 142027-2010
ABl. S-Ausgabe: 94/2010
Objekt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Oberflächen-Messgeräte 📦
Quelle: OJS 2010/S 094-142027 (2010-05-11)
- Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)