Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-05-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-04-17.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
EU-OV/2023-90
Produkte/Dienstleistungen: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)📦
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech....”
Kurze Beschreibung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
1️⃣
Ort der Leistung: Jena, Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Straße 9, 07745 Jena.”
Beschreibung der Beschaffung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech....”
Beschreibung der Beschaffung
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Nach Installation des PEALE-Prozesskits soll die Durchführung von Prozessen mit sehr geringen HF-Leistungen im Bereich von 15-30W und die Regelung von Prozessdruck und Gasflüssen für Zykluszeiten von ≤5s möglich sein. Weiterhin soll ein Echtzeit-Monitoring der Ätztiefe bzw. der verbleibenden Schichtdicke möglich sein und mitgeliefert werden.
Eine Kontamination der Anlage mit ferromagnetischen Materialien ist nicht zulässig, bei der Materialauswahl zu installierender Komponenten ist deshalb darauf zu achten, dass keine ferromagnetischen Materialien eingetragen werden.
Alle geforderten Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems Beschreibung
Dauer: 1
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Az.1050-R5.5-3144/144-4-17423/2023
Beschreibung
Zusätzliche Informationen:
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur
Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von...”
Zusätzliche Informationen
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur
Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der
Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die
Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl.
Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da
andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig
abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens
05.10.2023 zu stellen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen:
“Folgende Unterlagen sind einzureichen:
o Unternehmensdarstellung
- Allgemeine Unternehmensdarstellung
- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
-...”
Liste und kurze Beschreibung der Bedingungen
Folgende Unterlagen sind einzureichen:
o Unternehmensdarstellung
- Allgemeine Unternehmensdarstellung
- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den
Auftraggeber betreuen würde)
- Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse
- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige
- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
o Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das
Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der
Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist
o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen
gemäß § 123 GWB (Anlage 5)
o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von fakultativen Ausschlussgründen
gemäß § 124 GWB (Anlage 6)
Mehr anzeigen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“o Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte
der letzten drei Jahre).
o Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
o Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte
der letzten drei Jahre).
o Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung
einschließlich der Angabe der Deckungssummen.
Mehr anzeigen Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“o Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und
Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des
Auftraggebers (die...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
o Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und
Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des
Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers
ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern
einzuholen)
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“o Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)
o Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in
der Fassung des Art....”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
o Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)
o Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in
der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8.
April 2022 (Anlage 4.2)
o Auf Anforderung sind vom Best-Bieter die folgenden Erklärungen und
Nachweise vorzulegen
- Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12
Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 7)
- Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17
ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen (Anlage 8)
- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2
ThürVgG) (Anlage 9)
Wenn zutreffend:
- Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt und
Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 10)
- Verpflichtung des Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen
(§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 11)
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2023-05-22
10:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2023-06-22 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2023-05-22
10:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): siehe 1.
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Bestellung wird verwendet
Zusätzliche Informationen
“Das Verfahren unterliegt dem ThürVgG. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland unter Ausschluss internationaler Vereinbarungen.” Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an die
Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit
Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von
15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der
Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen
kann.
Mehr anzeigen
Quelle: OJS 2023/S 079-234304 (2023-04-17)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-06-21) Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 109 240 💰
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Preis (Gewichtung): 30
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2023/S 079-234304
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: EU-OV/2023-90
Titel: PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-06-09 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postort: Krailling
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: München, Landkreis🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 109 240 💰
Quelle: OJS 2023/S 120-380574 (2023-06-21)