PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500

Friedrich-Schiller-Universität Jena

Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-05-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-04-17.

Anbieter

Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:

Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
Datum Dokument
2023-04-17 Auftragsbekanntmachung
2023-06-21 Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Auftragsbekanntmachung (2023-04-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EU-OV/2023-90
Kurze Beschreibung:
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich. Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Mehr anzeigen
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️

Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Postanschrift: Fürstengraben 1
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-jena.de 🌏
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-04-17 📅
Einreichungsfrist: 2023-05-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-04-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 079-234304
ABl. S-Ausgabe: 79
Zusätzliche Informationen
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl. Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens 05.10.2023 zu stellen.
Mehr anzeigen

Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Mehr anzeigen
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Nach Installation des PEALE-Prozesskits soll die Durchführung von Prozessen mit sehr geringen HF-Leistungen im Bereich von 15-30W und die Regelung von Prozessdruck und Gasflüssen für Zykluszeiten von ≤5s möglich sein. Weiterhin soll ein Echtzeit-Monitoring der Ätztiefe bzw. der verbleibenden Schichtdicke möglich sein und mitgeliefert werden.
Mehr anzeigen
Eine Kontamination der Anlage mit ferromagnetischen Materialien ist nicht zulässig, bei der Materialauswahl zu installierender Komponenten ist deshalb darauf zu achten, dass keine ferromagnetischen Materialien eingetragen werden.
Alle geforderten Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.
Dauer: 1 Tage
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Az.1050-R5.5-3144/144-4-17423/2023
Zusätzliche Informationen:
Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur
Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der
Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die
Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl.
Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da
andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig
abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens
05.10.2023 zu stellen.
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Straße 9, 07745 Jena.

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
Folgende Unterlagen sind einzureichen:
o Unternehmensdarstellung
- Allgemeine Unternehmensdarstellung
- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.
- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den
Auftraggeber betreuen würde)
- Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse
- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige
- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.
o Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das
Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der
Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist
o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen
gemäß § 123 GWB (Anlage 5)
o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von fakultativen Ausschlussgründen
gemäß § 124 GWB (Anlage 6)
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
o Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte
der letzten drei Jahre).
o Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung
einschließlich der Angabe der Deckungssummen.
Technische und berufliche Fähigkeiten:
o Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und
Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des
Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers
ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern
einzuholen)
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
o Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)
o Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in
der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8.
April 2022 (Anlage 4.2)
o Auf Anforderung sind vom Best-Bieter die folgenden Erklärungen und
Nachweise vorzulegen
- Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12
Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 7)
- Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17
ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen (Anlage 8)
- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2
ThürVgG) (Anlage 9)
Wenn zutreffend:
- Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt und
Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 10)
- Verpflichtung des Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen
(§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 11)

Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-06-22 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-05-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: siehe 1.

Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏

Referenz
Zusätzliche Informationen
Das Verfahren unterliegt dem ThürVgG. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland unter Ausschluss internationaler Vereinbarungen.

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im
Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an die
Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit
Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von
15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der
Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen
kann.
Quelle: OJS 2023/S 079-234304 (2023-04-17)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-06-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 109 240 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge

Verfahren
Angebotsart: Entfällt

Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-06-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-06-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 120-380574
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 079-234304
ABl. S-Ausgabe: 120

Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Preis (Gewichtung): 30

Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-06-09 📅
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postort: Krailling
Land: Deutschland 🇩🇪
München, Landkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 109 240 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 120-380574 (2023-06-21)
Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕
Verwandte Suchen 🔍
Region:
Deutschland Thüringen Thüringen Jena, Kreisfreie Stadt