PEALE-Prozesskit für RIE-Ätzanlage SI 500
Friedrich-Schiller-Universität Jena
Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech. Diese Anlage wird für die Übertragung von Mikro- und Nanostrukturen mittels RIE-Verfahren in diverse Materialien genutzt. Durch die Erweiterung der Anlage wird die Durchführung von PEALE (Plasma Enhanced Atomic Layer Etching) Prozessen möglich.
Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2023-05-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2023-04-17.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2023-04-17 | Auftragsbekanntmachung |
| 2023-06-21 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2023-04-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EU-OV/2023-90
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech....”
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Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Postanschrift: Fürstengraben 1
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-jena.de 🌏
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-04-17 📅
Einreichungsfrist: 2023-05-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-04-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 079-234304
ABl. S-Ausgabe: 79
Zusätzliche Informationen
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von...”
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Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech....”
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“Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.”
“Nach Installation des PEALE-Prozesskits soll die Durchführung von Prozessen mit sehr geringen HF-Leistungen im Bereich von 15-30W und die Regelung von...”
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“Eine Kontamination der Anlage mit ferromagnetischen Materialien ist nicht zulässig, bei der Materialauswahl zu installierender Komponenten ist deshalb...”
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“Alle geforderten Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.”
Dauer: 1 Tage
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Az.1050-R5.5-3144/144-4-17423/2023
Zusätzliche Informationen:
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur”
“Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der”
“Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die”
“Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl.”
“Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da”
“andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig”
“abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens”
“05.10.2023 zu stellen.”
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Straße 9, 07745 Jena.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Folgende Unterlagen sind einzureichen:”
“o Unternehmensdarstellung”
“- Allgemeine Unternehmensdarstellung”
“- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.”
“- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den”
“Auftraggeber betreuen würde)”
“- Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse”
“- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige”
“- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.”
“o Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das”
“Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der”
“Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist”
“o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen”
“gemäß § 123 GWB (Anlage 5)”
“o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von fakultativen Ausschlussgründen”
“gemäß § 124 GWB (Anlage 6)”
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
“o Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte”
“der letzten drei Jahre).”
“o Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung”
“einschließlich der Angabe der Deckungssummen.”
Technische und berufliche Fähigkeiten:
“o Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und”
“Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des”
“Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers”
“ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern”
“einzuholen)”
Auftragsausführung
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“o Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)”
“o Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in”
“der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8.”
“April 2022 (Anlage 4.2)”
“o Auf Anforderung sind vom Best-Bieter die folgenden Erklärungen und”
“Nachweise vorzulegen”
“- Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12”
“Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 7)”
“- Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17”
“ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen (Anlage 8)”
“- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2”
“ThürVgG) (Anlage 9)”
“Wenn zutreffend:”
“- Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt und”
“Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 10)”
“- Verpflichtung des Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen”
“(§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 11)”
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-06-22 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-05-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: siehe 1.
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
Referenz
Zusätzliche Informationen
“Das Verfahren unterliegt dem ThürVgG. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland unter Ausschluss internationaler Vereinbarungen.”
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im”
“Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an die”
“Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit”
“Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von”
“15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der”
“Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen”
“kann.”
Quelle: OJS 2023/S 079-234304 (2023-04-17)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser)
Referenznummer: EU-OV/2023-90
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech....”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Jena, Kreisfreie Stadt 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Einrichtung des öffentlichen Rechts
Name des öffentlichen Auftraggebers: Friedrich-Schiller-Universität Jena
Postanschrift: Fürstengraben 1
Postleitzahl: 07743
Postort: Jena
Kontakt
Internetadresse: https://www.uni-jena.de 🌏
E-Mail: vergabestelle@uni-jena.de 📧
URL der Dokumente: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-04-17 📅
Einreichungsfrist: 2023-05-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-04-21 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 079-234304
ABl. S-Ausgabe: 79
Zusätzliche Informationen
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von...”
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Die Friedrich-Schiller-Universität Jena beabsichtigt die Beschaffung eines PEALE-Prozesskits für eine bestehende RIE-Ätzanlage SI 500 der Firma Sentech....”
“Die erweiterte Plasmaätzanlage soll zum Ätzen von Materialien eingesetzt werden, welche sich mit chlorhaltigen Gasen ätzen lassen.”
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“Nach Installation des PEALE-Prozesskits soll die Durchführung von Prozessen mit sehr geringen HF-Leistungen im Bereich von 15-30W und die Regelung von...”
“Eine Kontamination der Anlage mit ferromagnetischen Materialien ist nicht zulässig, bei der Materialauswahl zu installierender Komponenten ist deshalb...”
“Alle geforderten Spezifikationen sind in Anlage 2 aufgeführt.”
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Az.1050-R5.5-3144/144-4-17423/2023
Zusätzliche Informationen:
“Als Budget steht ein maximaler Betrag in Höhe von 130.000,00 Euro brutto zur”
“Verfügung. Die Vergabestelle behält sich vor Angebote über diesem Wert von der”
Mehr anzeigen (6)
“Wertung auszuschließen. Liegen alle Angebote über diesem Betrag ist die”
“Vergabestelle berechtigt die Ausschreibung aufzuheben. Die Lieferung inkl.”
“Installation & Einweisung hat bis spätestens zum 30.09.2023 fix zu erfolgen, da”
“andernfalls die für den Vertrag vorgesehenen Fördermittel nicht rechtzeitig”
“abgerufen werden können und verfallen. Schlussrechnung ist bis spätestens”
“05.10.2023 zu stellen.”
Hauptstandort oder Erfüllungsort:
“Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. (Leibniz-IPHT), Albert-Einstein-Straße 9, 07745 Jena.”
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung:
“Folgende Unterlagen sind einzureichen:”
“o Unternehmensdarstellung”
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“- Allgemeine Unternehmensdarstellung”
“- Firmenname, Rechtsform, Umsatzsteuerident-Nr.”
“- Anschrift (Hauptsitz/Niederlassungen/Sitz der Niederlassung, die den”
“Auftraggeber betreuen würde)”
“- Telefon-/Faxnummer und E-Mailadresse”
“- Organisationsstruktur des Unternehmens, Geschäftsfelder/-zweige”
“- Leistungsspektrum, Gründungsdatum, Unternehmenshistorie etc.”
“o Einen aktuellen (nicht älter als 6 Monate) Nachweis der Eintragung in das”
“Handelsregister oder ein vergleichbares Register nach Maßgabe der”
“Rechtsvorschriften des Landes, in dem das Unternehmen ansässig ist”
“o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von zwingenden Ausschlussgründen”
“gemäß § 123 GWB (Anlage 5)”
“o Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von fakultativen Ausschlussgründen”
“gemäß § 124 GWB (Anlage 6)”
“o Angaben zu den Umsätzen der letzte drei Jahre (ersatzweise Geschäftsberichte”
“der letzten drei Jahre).”
Mehr anzeigen (2)
“o Bescheinigung/Nachweis über eine bestehende Betriebshaftpflichtversicherung”
“einschließlich der Angabe der Deckungssummen.”
“o Nachweis von mindestens 3 Referenzen in vergleichbarer Art und”
“Größenordnung in den vergangenen 3 Jahren mit Kontaktdaten des”
Mehr anzeigen (3)
“Auftraggebers (die Referenzen dürfen nicht das Recht des Auftragsgebers”
“ausschließen oder einschränken weitere Informationen bei den Auftraggebern”
“einzuholen)”
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“o Eigenerklärung zum Ausschreibungsverfahren (Anlage 4.1)”
“o Eigenerklärung zu Artikel 5 k) Absatz 1 der Verordnung (EU) Nr. 833/2014 in”
Mehr anzeigen (15)
“der Fassung des Art. 1 Ziff. 23 der Verordnung (EU) 2022/576 des Rates vom 8.”
“April 2022 (Anlage 4.2)”
“o Auf Anforderung sind vom Best-Bieter die folgenden Erklärungen und”
“Nachweise vorzulegen”
“- Verpflichtung zu Tariftreue, Mindestentgelt und Entgeltgleichheit (§§ 10 und 12”
“Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 7)”
“- Verpflichtungen nach § 12 und § 15 ThürVgG - Nachunternehmereinsatz; § 17”
“ThürVgG - Kontrollen; § 18 ThürVgG - Sanktionen (Anlage 8)”
“- Verpflichtung zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen (§§ 11 und 12 Abs. 2”
“ThürVgG) (Anlage 9)”
“Wenn zutreffend:”
“- Verpflichtung des Nachunternehmers zu Tariftreue, Mindestentgelt und”
“Entgeltgleichheit (§§ 10, 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 10)”
“- Verpflichtung des Nachunternehmers zur Beachtung der ILO-Kernarbeitsnormen”
“(§§ 11 und 12 Abs. 2 ThürVgG) (Anlage 11)”
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 10:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2023-06-22 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2023-05-22 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 10:00
Ort des Eröffnungstermins: siehe 1.
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Dokumente URL: https://www.evergabe-online.de/tenderdetails.html?id=513340 🌏
Referenz
Zusätzliche Informationen
“Das Verfahren unterliegt dem ThürVgG. Es gilt das Recht der Bundesrepublik Deutschland unter Ausschluss internationaler Vereinbarungen.”
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Thüringer Landesverwaltungsamt - Vergabekammer
Postanschrift: Jorge-Semprún-Platz 4
Postort: Weimar
Postleitzahl: 99423
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
“Rügen der Bieter, in welchen diese einen Verstoß gegen die Vorschriften im”
“Vergabeverfahren vortragen, sind ausnahmslos (schriftlich oder E-Mail) an die”
Mehr anzeigen (5)
“Vergabestelle zu richten. Hilft die Vergabestelle der Rüge nicht ab, wird mit”
“Eingang des entsprechenden Antwortschreibens der Vergabestelle, eine Frist von”
“15 Kalendertagen in Gang gesetzt (§ 160 Abs. 3 Nr. 4 GWB), innerhalb derer der”
“Bieter einen etwaigen Nachprüfungsantrag bei der Vergabekammer einreichen”
“kann.”
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2023-06-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 109 240 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-06-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-06-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 120-380574
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 079-234304
ABl. S-Ausgabe: 120
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Preis (Gewichtung): 30
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-06-09 📅
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postort: Krailling
Land: Deutschland 🇩🇪
München, Landkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 109 240 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 120-380574 (2023-06-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert des Auftrags: 109 240 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Referenz
Daten
Absendedatum: 2023-06-21 📅
Veröffentlichungsdatum: 2023-06-26 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2023/S 120-380574
Verweist auf Bekanntmachung: 2023/S 079-234304
ABl. S-Ausgabe: 120
Verfahren
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): technische Spezifikationen
Qualitätskriterium (Gewichtung): 70
Preis (Gewichtung): 30
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2023-06-09 📅
Name: SENTECH Gesellschaft für Sensortechnik mbH
Postort: Krailling
Land: Deutschland 🇩🇪
München, Landkreis 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 109 240 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2023/S 120-380574 (2023-06-21)
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