Reaktives Ionenätzen
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral. Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt. Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern. Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen. Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2026-09-11. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-08-26.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie?- • Druckplatten oder Druckwalzen oder andere Träger zur Verwendung bei Druckarbeiten › Trockenätzausrüstung
- • Elektronischer, elektromechanischer und elektrotechnischer Bedarf › Elektromechanische Ausrüstung
- • Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Ansbach, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2026-08-26 | Auftragsbekanntmachung |
| 2026-09-22 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2026-08-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Reaktives Ionenätzen
Referenznummer:
Kurze Beschreibung:
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Elektromechanische Ausrüstung 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Trockenätzausrüstung 📦
Postleitzahl: 91052
Stadt: Erlangen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-10-13 📅
Datum des Endes: 2027-06-21 📅
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Titel
Los-Identifikationsnummer:
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Beschleunigtes Verfahren:
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-09-11 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 31 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-09-04 10:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eignungskriterium: Studien-, technische und Forschungseinrichtungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Applikationsreinraum
Eignungskriterium: Umweltmanagementmaßnahmen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Umweltzertifizierung
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe: Gemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Nationale Registrierungsnummer:
Abteilung: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
Postanschrift: Konrad-Zuse-Straße 3-5
Postleitzahl: 91052
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
E-Mail: aqut-info@fau.de 📧
Telefon: +49 91318571177 📞
URL: https://www.auftraege.bayern.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Nationale Registrierungsnummer:
Postanschrift: Promenade 27
Postleitzahl: 91522
Postort: Ansbach
Region: Ansbach, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Telefon: +49 981531277 📞
Fax: +49 981531837 📠
URL: https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-08-26+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 165-590353 (2026-08-26)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Reaktives Ionenätzen
Referenznummer:
2026000322
Kurze Beschreibung:
Für die aktuell am Lehrstuhl durchzuführenden Projekte ist die Herstellung freistehender Wellenleiter mittels "Faraday Cage Etching" zentral.
Dieser komplexe Prozess erfordert zwei völlig unterschiedliche Ätzregime in derselben Kammer. Entsprechend werden Entkoppelte Plasmadichte und Ionenenergie (für p-i-n Dioden Integration) benötigt.
Weitere Forschungsprojekte erfordern eine aktive Helium-Rückseitenkühlung (für nanophotonische Wellenleiter), um "Fließen" oder Verbrennen des Elektronenstrahl-Resists (E-Beam Lack) zu verhindern.
Bei zusätzlichen Projekten sowie bei der Nachbearbeitung von FIB-implantierten Defekten hat die Erhaltung der Kristallqualität oberste Priorität. Hochenergetischer Ionenbeschuss würde das Gitter schädigen und die optische Kohärenz der Farbzentren zerstören. Wichtig ist die schonende Entfernung von Oberflächenschichten ("Soft Etch"), ohne neue Defekte tief in den Kristall einzutragen.
Letztlich werden für die Strukturierung der Solid Immersion Lenses (SILs) in Diamant ein reines Sauerstoff-Plasma benötigt, während SiC eine Fluor-Chemie (SF₆/CHF₃) erfordert. Entsprechend notwendig ist eine Gasbox mit mindestens 5 Leitungen für Fluor- und Sauerstoff-Prozesse , um beide Materialklassen ohne Hardware-Umbau bearbeiten zu können. Ein "Open Load"-Design ist zudem für die geplante Arbeitsweise (Bearbeitung kleiner Bruchstück-Proben auf Carrier-Wafern) die technisch sinnvollste Lösung, da es im Gegensatz zu Load-Lock-Systemen keine aufwendige Anpassung von Roboter-Handlingsystemen an irreguläre Probengeometrien erfordert.
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Produkte/Dienstleistungen: Elektromechanische Ausrüstung 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
84acda79-6802-4c30-a1f5-9c6ee81cb304
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Trockenätzausrüstung 📦
Postleitzahl: 91052
Stadt: Erlangen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Dauer
Datum des Beginns: 2026-10-13 📅
Datum des Endes: 2027-06-21 📅
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Titel
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Beschleunigtes Verfahren:
Aufgrund der mit der ausgeschriebenen Leistung verbundenen zu erwartenden langen Lieferzeit und der Vorgabe des Drittmittelgebers zur befristeten Verfügbarkeit der bewilligten Mittel ergibt sich die Notwendigkeit, die Vergabe schnellstmöglich durchzuführen, da ansonsten die bewilligten Drittmittel nicht mehr im vollen Umfang zur Verfügung stehen werden.
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Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-09-11 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 31 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Erforderlich
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-09-04 10:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
Gemäß § 56 Abs. 2 VgV, § 51 Abs. 2 SektVO, § 16a Abs. 1 VOB/A-EU. Mögliche Hinweise des Auftraggebers in den Vergabeunterlagen sind zu beachten.
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Eignungskriterium: Studien-, technische und Forschungseinrichtungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Applikationsreinraum
Eignungskriterium: Umweltmanagementmaßnahmen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Umweltzertifizierung
Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe: Gemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Nationale Registrierungsnummer:
a215d5ee-7b2b-4ffd-8397-e7bbc0200c3e
Abteilung: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
Postanschrift: Konrad-Zuse-Straße 3-5
Postleitzahl: 91052
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
E-Mail: aqut-info@fau.de 📧
Telefon: +49 91318571177 📞
URL: https://www.auftraege.bayern.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/7f08e507-86b1-42f5-a479-d9520fa0afa9 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Nationale Registrierungsnummer:
c0f12e87-76f1-4468-90ef-036d199560d7
Postanschrift: Promenade 27
Postleitzahl: 91522
Postort: Ansbach
Region: Ansbach, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Telefon: +49 981531277 📞
Fax: +49 981531837 📠
URL: https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-08-26+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 165-590353 (2026-08-26)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2026-09-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): 0.01 EUR 💰
Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer:
Vertragsnummer:
Datum des Vertragsabschlusses: 2026-09-18 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0.01 EUR 💰
Kennung des Angebots:
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen:
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments GmbH
Nationale Registrierungsnummer:
Postleitzahl: 65205
Postort: Wiesbaden
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ger-pt_tenders@oxinst.com 📧
Telefon: 06122937130 📞
Fax: 06122937100 📠
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-09-22+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 184-654317 (2026-09-22)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): 0.01 EUR 💰
Auftragsvergabe
Ein Auftrag/Los wird vergeben ✅
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Vertragsnummer:
CON-0001 - Oxford Instruments GmbH
Datum des Vertragsabschlusses: 2026-09-18 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: 0.01 EUR 💰
Kennung des Angebots:
2026162687
Kennung des Loses oder der Gruppe von Losen:
LOT-0001
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments GmbH
Nationale Registrierungsnummer:
4b32a1ce-7169-4886-876c-421446eac7eb
Postleitzahl: 65205
Postort: Wiesbaden
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ger-pt_tenders@oxinst.com 📧
Telefon: 06122937130 📞
Fax: 06122937100 📠
Größe des Wirtschaftsteilnehmers: Großunternehmen
Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-09-22+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 184-654317 (2026-09-22)
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