Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P

Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2026-05-05. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2026-03-31.

Wer?

• Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12

Wie?

• Industrielle Maschinen › Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke

Wo?

• Freiburg › Freiburg im Breisgau, Stadtkreis
• Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
• Oberbayern › München, Kreisfreie Stadt

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2026-03-31	Auftragsbekanntmachung
2026-04-21	Auftragsbekanntmachung
2026-04-30	Auftragsbekanntmachung

Auftragsbekanntmachung (2026-03-31)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
Referenznummer: PR1146362-2050-P
Kurze Beschreibung: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke 📦
Beschreibung
Interne Kennung: LOT-0000
Beschreibung der Beschaffung:

1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.

Postanschrift: Tullastr. 72
Postleitzahl: 79108
Stadt: Freiburg
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️
Dauer: 14 Monate
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000

Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-05 09:30:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-05 09:30:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 56 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Eröffnungstermin: 2026-05-05 09:30:00 📅
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Zusätzliche Informationen:

Siehe Vergabeunterlagen

See procurement documents

Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅

Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Arbeiten
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Min. 3 Referenzen (nicht älter als 3 Jahre) für gleiche oder vergleichbare Anlagen zum Reinigen von Masken und/oder Wafern. Als vergleichbare Anlagen gelten Anlagen, die mit Hilfe von wässrigen Lösungen Wafer und/oder Masken/Reticle von Partikeln und Verunreinigungen reinigen (s. Leistungsverzeichnis). Nennung von: -Kundennamen -Kategorie des Kunden (Forschung, Industrie, etc.) -Kurzbeschreibung des Gerätes -Einsatzzweck des Geräts

Eignungskriterium: Durchschnittliche jährliche Belegschaft
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Darstellung der Firma Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte in Textform, KEINE Links oder Bilder.

Eignungskriterium: Andere wirtschaftliche oder finanzielle Anforderungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §123 und § 124 GWB 2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014

Eignungskriterium: Finanzkennzahlen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:

Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte" Es ist der jährliche Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte" für jedes der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre anzugeben. Mindestanforderung: Aus den angegebenen Jahresumsätzen bildet der Auftraggeber den durchschnittlichen jährlichen Umsatz (arithmetisches Mittel) der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre. Dieser Durchschnittswert muss mindestens 450.000 € betragen. Wird dieser Durchschnittswert nicht erreicht, gilt die Mindestanforderung als nicht erfüllt.

Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:

Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.

Bedingungen für die Teilnahme
Ausschlussgrund:

Beteiligung an einer kriminellen Vereinigung

Betrug

Der Zahlungsunfähigkeit vergleichbare Lage gemäß nationaler Rechtsvorschriften

+ 19 weitere

Direkte oder indirekte Beteiligung an der Vorbereitung des Vergabeverfahrens

Einstellung der gewerblichen Tätigkeit

Geldwäsche oder Terrorismusfinanzierung

Interessenkonflikt aufgrund seiner Teilnahme an dem Vergabeverfahren

Kinderarbeit und andere Formen des Menschenhandels

Korruption

Schwerwiegendes berufliches Fehlverhalten

Terroristische Straftaten oder Straftaten im Zusammenhang mit terroristischen Aktivitäten

Täuschung, Zurückhaltung von Informationen, Unfähigkeit zur Vorlage erforderlicher Unterlagen oder Erlangung vertraulicher Informationen zu dem Verfahren

Vereinbarungen mit anderen Wirtschaftsteilnehmern zur Verzerrung des Wettbewerbs

Verstoß gegen arbeitsrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Sozialversicherungsbeiträgen

Verstoß gegen die Verpflichtung zur Entrichtung von Steuern

Verstoß gegen sozialrechtliche Verpflichtungen

Verstoß gegen umweltrechtliche Verpflichtungen

Verwaltung der Vermögenswerte durch einen Insolvenzverwalter

Vorzeitige Beendigung, Schadensersatz oder andere vergleichbare Sanktionen

Zahlungsunfähigkeit

Beschreibung der Ausschlussgründe:

Es gelten alle einschlägigen zwingenden wie fakultativen Ausschlussgründe, die durch nationales Recht normiert sind.

All relevant mandatory and optional grounds for exclusion standardised by national law apply.

Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Fraunhofer-Gesellschaft - Einkauf B12
Nationale Registrierungsnummer: DE 129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Einkauf Betrieb und Infrastruktur
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49891205-0 📞
URL: https://vergabe.fraunhofer.de/ 🌏
Adresse des Käuferprofils: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Einrichtung des öffentlichen Rechts
Haupttätigkeit
Allgemeine öffentliche Verwaltung
Kommunikation
Dokumente URL: https://vergabe.fraunhofer.de/NetServer/TenderingProcedureDetails?function=_Details&TenderOID=54321-Tender-19caecb896a-5dc2f1a28741b4a2 🌏
Teilnahme-URL: https://vergabe.fraunhofer.de 🌏
Elektronische Einreichung: Zulässig

Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de 📧
Telefon: +49 228 9499-0 📞
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Nationale Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt 🏙️
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 89 1205-0 📞
URL: https://www.fraunhofer.de 🌏
Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:

Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).

Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-03-31+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 065-228575 (2026-03-31)

Auftragsbekanntmachung (2026-04-21)
Öffentlicher Auftraggeber
Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben ✅

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-04-21+02:00 📅

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Andere zusätzliche Informationen

Aktualisierung des Leistungsverzeichnis. Positionen 1.9 & 1.10 wurden ergänzt. Die englische Beschreibung der Auftragsbekanntmachung wurde angepasst (nun identisch zur deutschen Version)

Update to the specifications. Items 1.9 and 1.10 have been added. The English description in the contract notice has been amended (it is now identical to the German version)

Hauptgrund für die Änderung: Korrektur – Beschaffer
Angaben zu Änderungen
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: 7e0b5e8e-eca2-450b-86df-dcc750dc2253-01
Quelle: OJS 2026/S 078-274354 (2026-04-21)

Auftragsbekanntmachung (2026-04-30)
Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-12 09:30:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-12 09:30:00 📅
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Eröffnungstermin: 2026-05-12 09:30:00 📅

Ergänzende Informationen
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-04-30+02:00 📅

Änderungen
Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Andere zusätzliche Informationen

Aktualisiserung LV und Verlängerung der Angebots- und Bindefrist

Update to the tender documents and extension of the tender and binding period

Hauptgrund für die Änderung: Korrektur – Beschaffer
Angaben zu Änderungen
Fassung der zu ändernden vorigen Bekanntmachung: dc3aa9a6-df2a-4fa0-b190-a2deed3e3195-01
Quelle: OJS 2026/S 085-301283 (2026-04-30)

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