Auftragsbekanntmachung (2026-03-31) Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3) - PR1146362-2050-P
Referenznummer: PR1146362-2050-P
Kurze Beschreibung:
“Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)”
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Maschinen für allgemeine und besondere Zwecke📦 Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)
Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4...”
Beschreibung der Beschaffung
1 Stück Waferreiniger / Maskenreiniger (IAF-08.3)
Beschafft werden soll ein Wafer- und Maskenreinigungsgerät, das in einem Reinraum der ISO-Klasse 4 aufgestellt werden soll und den europäischen Sicherheitsvorschriften für Industrieanlagen entsprechen muss. In der Anlage sollen Wafer und Lithographie-Masken in Anlehnung an den RCA-Reinigungsprozess mit Hilfe wässriger und saurer Lösungen von Partikeln und Verschmutzungen befreit werden. Um sicheres Arbeiten und eine hohe Langlebigkeit zu gewährleisten, muss die Prozesskammer aus prozessmedienresistentem Material gefertigt sein und über eine Absaugung sowie eine Leckageerkennung verfügen. Die Anlage muss in der Lage sein, Partikel größer als 250 nm zuverlässig von (Quarz-)Glas oder Wafern zu entfernen, um die für die Prozesse im Reinraum des Fraunhofer IAF erforderliche Reinheit sicherzustellen und die Prozessausbeute nicht zu beeinträchtigen.
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Ort der Leistung: Freiburg im Breisgau, Stadtkreis🏙️
Dauer: 14 (MONTH)
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Technik
Qualitätskriterium (Gewichtung): 65.00
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 35.00
Titel
Los-Identifikationsnummer: LOT-0000
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅ Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-05 09:30:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-05 09:30:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 56
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Bedingungen für die Teilnahme
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Min. 3 Referenzen (nicht älter als 3 Jahre) für gleiche oder vergleichbare Anlagen zum Reinigen von Masken und/oder Wafern.
Als vergleichbare Anlagen gelten...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Min. 3 Referenzen (nicht älter als 3 Jahre) für gleiche oder vergleichbare Anlagen zum Reinigen von Masken und/oder Wafern.
Als vergleichbare Anlagen gelten Anlagen, die mit Hilfe von wässrigen Lösungen Wafer und/oder Masken/Reticle von Partikeln und Verunreinigungen reinigen (s. Leistungsverzeichnis).
Nennung von:
-Kundennamen
-Kategorie des Kunden (Forschung, Industrie, etc.)
-Kurzbeschreibung des Gerätes
-Einsatzzweck des Geräts
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Darstellung der Firma
Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl
der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Darstellung der Firma
Mindestangaben: Gründungsjahr, wichtige Meilensteine des Unternehmens, Anzahl
der Mitarbeiter, was wird hergestellt / welche Leistungen werden erbracht --> Alle Angaben bitte
in Textform, KEINE Links oder Bilder.
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Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“1. Eigenerklärung über das Nichtvorliegen von Ausschlussgründen nach §123 und § 124 GWB
2. Eigenerklärung-Selfdeclaration (EU) Nr. 833/2014”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien:
“Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte"
Es ist der jährliche Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte" für jedes der...”
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien
Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte"
Es ist der jährliche Umsatz in der Produktsparte "Halbleiterfertigungsgeräte" für jedes der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre anzugeben.
Mindestanforderung:
Aus den angegebenen Jahresumsätzen bildet der Auftraggeber den durchschnittlichen jährlichen Umsatz (arithmetisches Mittel) der letzten drei abgeschlossenen Geschäftsjahre.
Dieser Durchschnittswert muss mindestens 450.000 € betragen.
Wird dieser Durchschnittswert nicht erreicht, gilt die Mindestanforderung als nicht erfüllt.
Mehr anzeigen Bedingungen für den Vertrag
Bedingungen für die Vertragserfüllung:
“Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten...”
Bedingungen für die Vertragserfüllung
Bei evtl. Einsatz von Nachunternehmern sind diese zu benennen, ihre Eignung ist ebenfalls anhand der unter "Ausschreibungsbedingungen" aufgeführten Eignungskriterien nachzuweisen. Ferner ist zu bestätigen, dass sie im Auftragsfall zur Verfügung stehen; deren Anteil am Umfang des Auftragsgegenstandes ist darzulegen.
Ergänzende Informationen Körper überprüfen
Name: Vergabekammern des Bundes
Nationale Registrierungsnummer: t:022894990
Postanschrift: Kaiser-Friedrich-Straße 16
Postleitzahl: 53113
Postort: Bonn
Region: Bonn, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vk@bundeskartellamt.bund.de📧
Telefon: +49 228 9499-0📞 Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
Nationale Registrierungsnummer: DE-129515865
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Region: München, Kreisfreie Stadt🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
Telefon: +49 89 1205-0📞
URL: https://www.fraunhofer.de🌏 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB) . Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Quelle: OJS 2026/S 065-228575 (2026-03-31)
Auftragsbekanntmachung (2026-04-21) Öffentlicher Auftraggeber Informationen zur gemeinsamen Beschaffung
Der Auftrag wird von einer zentralen Beschaffungsstelle vergeben ✅
Änderungen Andere zusätzliche Informationen
“Aktualisierung des Leistungsverzeichnis. Positionen 1.9 & 1.10 wurden ergänzt. Die englische Beschreibung der Auftragsbekanntmachung wurde angepasst (nun...”
Aktualisierung des Leistungsverzeichnis. Positionen 1.9 & 1.10 wurden ergänzt. Die englische Beschreibung der Auftragsbekanntmachung wurde angepasst (nun identisch zur deutschen Version)
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Quelle: OJS 2026/S 078-274354 (2026-04-21)
Auftragsbekanntmachung (2026-04-30) Verfahren Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-05-12 09:30:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2026-05-12 09:30:00 📅
Änderungen Andere zusätzliche Informationen
“Aktualisiserung LV und Verlängerung der Angebots- und Bindefrist”
Quelle: OJS 2026/S 085-301283 (2026-04-30)