Zwei-Kammer-Ätzanlage
Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Auftragsgegenstand, CPA-Nummer: CPV: 22520000. Flexible RIE Plasmaätzanlage mit zwei Kammern für Reinigungen, Ätzen von Dielektrika und Wolframsilizid für produktionsähnliche III/V Prozesse. 100 mm GaAs Scheiben (geeignet oder umrüstbar für 150 mm GaAs). Einzelscheiben-Ätzung; RF Generator bis etwa 600 W, 13,56 MHz; automatisches Matching mit Vorgabe der Vorwärtsleistung oder der DC Bias Spannung (wahlweise); RF Anregung über Substratelektrode (RIE mode); Gaszuführung programmierbar über vier Gaslinien mit MFC und Absperrventilen, verwendete Gase voraussichtl.: SF6, O2, N2, Ar; Pumpsystem mit Kombination Turbo-/Drehschieberpumpe oder Turbo-/Membranpumpe; Druckregelung im Arbeitsbereich 20 bis 200 ìbar (0,2 bis 20 Pa). Probeneinbau über Schleuse; Cassette-to-Cassette Betrieb. programmierbarer Prozessablauf, bevorzugt unter Windows 2000 mit benutzerfreundlicher Bedienoberfläche und Prozessvisualisierung; Homogenität der Ätzrate besser 5 % über 150 mm; automatische Datenspeicherung (data logging).
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2001-10-04. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2001-09-22.
Wer? Wie?- • Druckplatten oder Druckwalzen oder andere Träger zur Verwendung bei Druckarbeiten › Trockenätzausrüstung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2001-09-19 | Auftragsbekanntmachung |
| 2001-12-13 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Zwei-Kammer-Ätzanlage
Volltext:
“Auftragsgegenstand, CPA-Nummer: CPV: 22520000. Flexible RIE Plasmaätzanlage mit zwei Kammern für Reinigungen, Ätzen von Dielektrika und Wolframsilizid für...”
Ort der Leistung
Freiburg im Breisgau, Stadtkreis 🏙️
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ausschreibung
Art des Auftrags: Lieferauftrag
Verordnung: Europäische Gemeinschaften
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Verfahren
Verfahrensart: Beschleunigte Verhandlungsverfahren
Vergabekriterien
Entfällt
Angebotsart: Gesamtangebot
Art des öffentlichen Auftraggebers: Körperschaften
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V.
Land: Deutschland 🇩🇪
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2001-09-22 📅
Empfangsdatum: 2001-09-19 📅
Absendedatum: 2001-09-19 📅
Einreichungsfrist: 2001-10-04 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 125733-2001
ABl. S-Ausgabe: 183/2001
Objekt
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Trockenätzausrüstung 📦
Quelle: OJS 2001/S 183-125733 (2001-09-19)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Vergebene Aufträge
Verfahren
Verfahrensart: Vergebene Aufträge
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Referenz
Daten
Veröffentlichungsdatum: 2001-12-21 📅
Empfangsdatum: 2001-12-13 📅
Absendedatum: 2001-12-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer (Legacy): 169072-2001
ABl. S-Ausgabe: 246/2001
Verweist auf Bekanntmachung: 125733-2001
Objekt
Zuschlagsdetails
Erteilter Auftrag: Auftragnehmer: Sentech GmbH, D-Stockdorf.
Quelle: OJS 2001/S 246-169072 (2001-12-13)