Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter ASM Europe B. V. erwähnt wird
2018-09-13Epitaxi-Anlage (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Zur Erweiterung der Prozessmöglichkeiten im MEMS Bereich soll eine Epitaxie Anlage beschafft werden. Die Anlage wird benötigt für die Abscheidung von Schichten für eine erweiterte poly-Si MEMS/NEMS Technologie-Plattform.
Haupteinsatzgebiet der Anlage wird die Abscheidung von mikro mechanischen Funktions schichten (dicker Polysilizium Schichten („EpiPoly“)) auf unterschiedlich vorprozessierten 200 mm Wafern sein.
Fortsetzung II.2.4) Beschreibung der Beschaffung:
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:ASM Europe B. V.