2016-04-14Partikelmessgerät (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Partikelmessgerät
Das Partikelmeßgerät dient zur Bestimmung der Anzahl und Größe von unerwünschten Partikeln von hochreinen Siliziumwafern.
Durch das Abscannen der Waferoberfläche mittles Laserstrahl können auch Defekte wie Kratzer oder eine zu hohe Öberflächenrauhigkeit erfasst werden.
Das Gerät soll für blanke, beschichtete oder strukturierte Wafer mit einem Durchmesser von 200mm und 150mm eingesetzt werden.
Die Partikelmessung ist unerlässlich für die Kontaminationsüberwachung unserer Anlagen …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:KLA-Tencor Corporation