2022-04-29Beschichtungsanlage mit konfogalen Magnetron-Quellen (Westsächsische Hochschule Zwickau)
Die Westsächsische Hochschule Zwickau beabsichtigt für Lehre und Forschung und den Kauf einer Beschichtungsanlage mit konfokalen Magnetron-Quellen.
Anforderungen an die Gesamtanlage und Steuerung
1.1 Prozesskammer mit drei Sputterquellen und einer Ionenquelle
1.2 Schleuse mit Einzelsubstrat (Carrier)
1.3 Automatischer Rezeptablauf (Quellsteuerung, Bewegungssteuerung, Shuttersteuerung….)
1.4 Bei Multischichten müssen für jede Einzelschicht Zeit- und Quellleistungen vorgebbar sein (z.B. über …
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2022-01-20Hochvakuum Beschichtungs-Systems (Rheinische Friedrich-Wilhelms-Universität Bonn, Abt. 5.3)
Im Rahmen des BMBF-Projekts "QR.X" sollen am Physikalischen Institut der Rheinischen Friedrich- Wilhelms-Universität Bonn metallische Mikrowellenelemente auf optische Glasfasern aufgebracht werden. Für die Metallisierung soll ein Hochvakuum Beschichtungs-System angeschafft werden.
Es sollen nur Neugeräte geliefert werden (Keine Vorführgeräte oder Gebrauchtgeräte).
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