2015-12-21E_066_233493 cl-Ols – Ionenstrahlätzanlage IBF / RIBE (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
E_066_233493 cl-Ols – Ionenstrahlätzanlage IBF / RIBE
Es wird eine Ionenstrahlätzanlage für die physikalische Formkorrektur (Ion Beam Figuring – IBF) optischer Oberflächen und die reaktive Mikrostrukturierung (reactive ion beam etching – RIBE) von Kieselglassubstraten mit Abmessungen bis 340mm Durchmesser benötigt. Dazu soll die Anlage mit einer Ionenstrahlquelle zum physikalischen Ätzen mit fokussiertem Ionenstrahl und einer zweiten reaktiven Breitstrahl-Ionenquelle ausgerüstet sein.
Die Formkorrektur …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:NTG Neue Technologien GmbH