Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter OEM Group, Inc. erwähnt wird
2016-11-29RTP-Tool (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe)
RTP steht für rapid thermal processing (auch bekannt als RTA oder RTO (annealing oder oxidation)). Die Singel-Wafer-Anlage muss einen Prozessraum zum schnellen und homogenen erhitzen von 200 mm Wafern bieten. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung von 200 mm Si-Substraten in einem ISO 4 Reinraum zur Herstellung von SiO2-Schichten als auch für Temperungen vorgesehen. Die Anlage muss kurzzeitige Temperaturen bis zu 1 150 °C leisten können und die Wafer mit einer wählbaren …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:OEM Group, Inc.
2016-02-16E_848_219422 cl-bla – Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
E_848_219422 cl-bla – Polymerrestrestentfernungsanlage nach Plasmaätzprozessen
Beschaffung einer Polymerrestentfernungsanlage nach Plasmaätz-Prozessen zur Halbleiterfertigung
Beschreibung:
Die Anlage muss 200 mm und 150 mm Wafer (optional) von der Vorder- und Rückseite mit organischen Lösungsmitten (z. B. EKC265, IPA) reinigen können sowie im Anschluss den Wafer trocknen können. Die Anlage ist für den Einsatz in der Halbleiter-MEMS-Fertigung in einem ISO 4 Reinraum zur Entfernung von Polymerresten nach …
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