Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter Singulus Technologies AG erwähnt wird
2019-08-15PVD-Abscheideanlage für Nanomaterialien (Technische Universität Chemnitz)
Beim Beschaffungsgegenstand handelt es sich um eine UHV-Sputteranlage, welche speziell für die Nanotechnologien konzipiert ist. Die Anlage verfügt über mehrere Sputterkathoden in konfokaler Anordnung sowie einen beheizbaren Wafertisch und dient der Abscheidung sehr dünner Mehrkomponentenschichten mit spezieller Stöchiometrie und Kristallinität sowie komplexen Multilagensystemen. Ihr Haupteinsatz soll im Bereich der spintronischen Schichtsysteme, der memristiven Bauelemente sowie der NEMS erfolgen. Die …
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2017-12-19Hochvakuum-Beschichtungsanlage (Deutsches Zentrum für Luft- und Raumfahrt (DLR) – Oldenburg)
Das DLR-Institut für Vernetzte Energiesysteme plant die Beschaffung einer Hochvakuum-Anlage, die in der Beschichtung von Substraten mittels Magnetron-Sputterabscheidung Verwendung finden soll.
Prozesse, die auf der Anlage vom Lieferanten eingefahren sein sollen, sind Sputterprozesse für die Herstellung von transparenten leitfähigen Oxiden (TCOs), sehr dünnen Silberschichten (low-e), Nitrid-, Oxid- und Oxinitrid-Schichten. Für alle Prozesse ist eine hohe Schichtdickenhomogenität über der gesamten …
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