Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter SIOS Meßtechnik GmbH erwähnt wird
2018-03-23NanoFabrikationsmaschine 100 (Technische Universität Ilmenau, Dezernat Finanzen, SG Beschaffung)
Die TU Ilmenau plant die Anschaffung einer Nanofabrikationsmaschine auf Basis eines Scanning Probe Lithographie Systems zur skalenübergreifenden Nano-Strukturierung von planaren Oberflächen für Mess- und Bearbeitungsbereiche Ø 100 mm. Die laterale Auflösung der Positionierung soll < 0,1 nm, die Positionierreproduzierbarkeit < 2 nm betragen. Mit dem Lithography -AFM sollen Stegbreiten < 15 nm strukturierbar sein. Dies soll insbesondere auf Basis von Fowler Nordheim-Emission (FN) erfolgen.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:SIOS Meßtechnik GmbH