CD-Messplatz
Beschaffung einer optischen Messapparatur zur Bestimmung kritischer Dimensionen (CD), des Overlays, von Defekte und Schichtdicken (optional) auf Wafern mit Scheibendurchmesser von 3“ bis zu 200 mm.
Für unsere Anwendungen benötigen wir ein automatisiertes Prozesskontrollsystem zur Bestimmung von kritischen Abmessungen, der Überlagegenauigkeit, von Defekten und Schichtdicken auf Silicium- und
Siliciumcarbidwafern mit Durchmessern von 3“ bis 200mm und auf Photolithographiemasken und –reticles.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-02-22.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-01-08.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer?
Wie?
Wo?
Geschichte der Beschaffung
Auftragsbekanntmachung (2013-01-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Oberflächen-Messgeräte
Menge oder Umfang:
“1 Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch
🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code:
Oberflächen-Messgeräte
📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland
🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse:
http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
E-Mail:
fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Telefon:
+49 611/9491060 📞
Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-01-08 📅
Einreichungsfrist: 2013-02-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-01-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 008-009351
ABl. S-Ausgabe: 8
Zusätzliche Informationen
“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).”
Quelle: OJS 2013/S 008-009351 (2013-01-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2013-04-03)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Kontakt
Internetadresse:
http://www.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail:
einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon:
+49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057548
📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-04-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-04-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 067-111209
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 8-009351
ABl. S-Ausgabe: 67
Quelle: OJS 2013/S 067-111209 (2013-04-03)