CD-Messplatz
Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Beschaffung einer optischen Messapparatur zur Bestimmung kritischer Dimensionen (CD), des Overlays, von Defekte und Schichtdicken (optional) auf Wafern mit Scheibendurchmesser von 3“ bis zu 200 mm.
Für unsere Anwendungen benötigen wir ein automatisiertes Prozesskontrollsystem zur Bestimmung von kritischen Abmessungen, der Überlagegenauigkeit, von Defekten und Schichtdicken auf Silicium- und
Siliciumcarbidwafern mit Durchmessern von 3“ bis 200mm und auf Photolithographiemasken und –reticles.
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-02-22. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-01-08.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie? Wo?
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2013-01-08 | Auftragsbekanntmachung |
| 2013-04-03 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2013-01-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Oberflächen-Messgeräte
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Oberflächen-Messgeräte 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Telefon: +49 611/9491060 📞
Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-01-08 📅
Einreichungsfrist: 2013-02-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-01-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 008-009351
ABl. S-Ausgabe: 8
Zusätzliche Informationen
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Beschreibung der Optionen: Optional ist Zubehör anzubieten.
Dauer: 3 Monate
Referenznummer: BM 879/211493/cl-ort
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Technische und berufliche Fähigkeiten: — Komplette Referenzen von vergleichbaren Geräten, nicht älter als 3 Jahre.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-04-16 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2013-02-25 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Internetadresse: www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstraße 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kontaktperson: BM 879/211493/cl-ort
Telefon: +49 6119491060 📞
Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 879/211493/cl-ort
Zusätzliche Informationen
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2013/S 008-009351 (2013-01-08)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Oberflächen-Messgeräte
Menge oder Umfang: 1 Stück.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Oberflächen-Messgeräte 📦
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e. V.
Postanschrift: Hansastr. 27 c
Postleitzahl: 80686
Postort: München
Kontakt
Internetadresse: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
E-Mail: fraunhofer@deutsche-evergabe.de 📧
Telefon: +49 611/9491060 📞
Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-01-08 📅
Einreichungsfrist: 2013-02-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-01-11 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 008-009351
ABl. S-Ausgabe: 8
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).
Die Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Beschaffung einer optischen Messapparatur zur Bestimmung kritischer Dimensionen (CD), des Overlays, von Defekte und Schichtdicken (optional) auf Wafern mit Scheibendurchmesser von 3“ bis zu 200 mm.
Für unsere Anwendungen benötigen wir ein automatisiertes Prozesskontrollsystem zur Bestimmung von kritischen Abmessungen, der Überlagegenauigkeit, von Defekten und Schichtdicken auf Silicium- und
Siliciumcarbidwafern mit Durchmessern von 3“ bis 200mm und auf Photolithographiemasken und –reticles.
Dauer: 3 Monate
Referenznummer: BM 879/211493/cl-ort
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen.
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Befähigung zur Berufsausübung: — Firmenprofil.
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
— Angaben zum Umsatz der letzten 3 Geschäftsjahre;
— Eigenerklärung über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Abgaben sowie der Beiträge zur gesetzlichen Sozialversicherung;
— Eigenerklärung, dass weder ein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde noch das sich das Unternehmen in Liquidation befindet;
— Eigenerklärung, dass nachweislich keine schweren Verfehlungen begangen wurden, die die Zuverlässigkeit als Bewerber in Frage stellen.
Auftragsausführung
Wichtigste Finanzierungsbedingungen und Zahlungsmodalitäten und/oder Verweis auf die einschlägigen Bestimmungen, die sie regeln: Siehe Verdingungsunterlagen.
Rechtsform der Gruppe von Wirtschaftsteilnehmern, an die der Auftrag vergeben werden soll: Selbstschuldnerisch haftend mit bevollmächtigtem Vertreter.
Sonstige besondere Bedingungen:
Die unter III.2 geforderten Unterlagen sind spätestens bis zu dem unter IV 3.4 genannten Termin vollständig einzureichen. Unvollständigkeit kann zum Ausschluß führen.
Verfahren
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2013-04-16 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2013-02-25 📅
Sprachen
Sprache: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Other
Kontakt
Internetadresse: www.deutsche-evergabe.de 🌏
Name: Fraunhofer-Gesellschaft e. V. über Vergabeportal eVergabe
Postanschrift: Wilhelmstraße 20-22
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65185
URL für weitere Informationen: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
URL der Dokumente: http://www.deutsche-evergabe.de 🌏
Kontaktperson: BM 879/211493/cl-ort
Telefon: +49 6119491060 📞
Referenz
Kennungen
Vom öffentlichen Auftraggeber vergebene Referenznummer: BM 879/211493/cl-ort
Zusätzliche Informationen
Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG).
Die Plattform www.deutsche-evergabe.de ist kostenpflichtig.
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemomblerstraße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF, Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I 1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.
Mehr anzeigen
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postleitzahl: 53175
Quelle: OJS 2013/S 008-009351 (2013-01-08)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2013-04-03)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057548 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-04-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-04-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 067-111209
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 8-009351
ABl. S-Ausgabe: 67
Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (40)
2. Technische Ausführung entsprechend Spezifikation (50)
3. Lieferzeit, Hard- und Softwaresupport für mehr als 10 Jahre (10)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-03-07 📅
Name: MueTec GmbH
Postanschrift: Hans-Bunte-Str. 5
Postort: München
Postleitzahl: 80992
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2013/S 067-111209 (2013-04-03)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer-Gesellschaft e. V.
Kontakt
Internetadresse: http://www.fraunhofer.de/ 🌏
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de 📧
Telefon: +49 8912053229 📞
Fax: +49 8912057548 📠
Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-04-03 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-04-05 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 067-111209
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 8-009351
ABl. S-Ausgabe: 67
Objekt
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Erlangen
Verfahren
Vergabekriterien
Kriterium: 1. Preis (40)
2. Technische Ausführung entsprechend Spezifikation (50)
3. Lieferzeit, Hard- und Softwaresupport für mehr als 10 Jahre (10)
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2013-03-07 📅
Name: MueTec GmbH
Postanschrift: Hans-Bunte-Str. 5
Postort: München
Postleitzahl: 80992
Land: Deutschland 🇩🇪
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Öffentlicher Auftraggeber
Kontakt
Kontaktperson: Carla Lönz
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Informationen zu Fristen für Nachprüfungsverfahren:
Solange ein wirksamer Zuschlag (Vertragsschluss) noch nicht erteilt ist, kann als Rechtsbehelf ein Nachprüfungsantrag bei der unter VI 4.1 genannten Stelle gestellt werden. Bewerber/Bieter müssen Vergaberechtsverstöße unverzüglich bei der unter I.1 genannten Vergabestelle rügen, bevor sie einen Nachprüfungsantrag stellen. Wir weisen ausdrücklich auf die Antragsfrist des §107 Abs. 3 Satz1 Nr. 4 Gesetz gegen Wettbewerbsbeschränkungen (GWB) hin. Bieter, deren Angebote nicht berücksichtigt werden sollen, werden vor dem Zuschlag gem. §101a GWB informiert.
Mehr anzeigen
Postanschrift: Heinemannstr. 2
Quelle: OJS 2013/S 067-111209 (2013-04-03)
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