Nanolithographiesystem

Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Nanolithographiesystem bestehend aus Electron Beam Exposure System und CD-SEM Elektronenstrahlbelichtungsanlage – Ausrüstung zum Belichten von Elektronen-strahlresists auf Waferlevel für MEMS/NEMS und Nanoelektronik. CD-SEM (spezielles Rasterelektronenmikroskop): Ausrüstung zur automatisierten Kontrolle der lateralen Abmessungen und Toleranzen von Strukturen auf Waferlevel für MEMS/NEMS und Nanoelektronik mittels Elektronenmikroskopie.

Deadline

Die Frist für den Eingang der Angebote war 2013-08-26. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2013-07-25.

Wer?

• Fraunhofer Gesellschaft e.V.

Wie?

• Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope
• Elektronenmikroskope › Durchstrahlungs-Elektronenmikroskope

Geschichte der Beschaffung

Datum	Dokument
2013-07-25	Auftragsbekanntmachung
2013-12-04	Ergänzende Angaben

Auftragsbekanntmachung (2013-07-25)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroskope
Menge oder Umfang:
“Je 1 Stück.”
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroskope 📦

Verfahren
Verfahrensart: Verhandlungsverfahren
Angebotsart: Angebot ausschließlich für ein Los
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot

Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Fraunhofer Gesellschaft e.V.
Postanschrift: Hansastr. 27c
Postleitzahl: 80686
Postort: München

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-07-25 📅
Einreichungsfrist: 2013-08-26 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-07-30 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 146-253612
ABl. S-Ausgabe: 146
Zusätzliche Informationen

“Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nichtberücksichtigte Angebote (VOL/A § 22 EG). Die Nutzung der Plattform...”
Quelle: OJS 2013/S 146-253612 (2013-07-25)

Ergänzende Angaben (2013-12-04)
Objekt
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Ergänzende Angaben

Referenz
Daten
Absendedatum: 2013-12-04 📅
Einreichungsfrist: 2013-12-22 📅
Veröffentlichungsdatum: 2013-12-06 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2013/S 237-411510
Verweist auf Bekanntmachung: 2013/S 146-253612
ABl. S-Ausgabe: 237
Quelle: OJS 2013/S 237-411510 (2013-12-04)

Neue Beschaffungen in verwandten Kategorien 🆕

Laborgeräte, optische Geräte und Präzisionsgeräte (außer Gläser) (>20 neue Beschaffungen)

Apparate und Geräte zum Prüfen und Testen (16)

Mikroskope (4)