Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2022-08-23.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-07-13.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Cluster-Trockenätzanlage
VS_Cluster-Trockenätzanlage_JA
Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte📦
Kurze Beschreibung:
“Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer...”
Kurze Beschreibung
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
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Geschätzter Wert ohne MwSt: EUR 990 000 💰
1️⃣
Ort der Leistung: Schwarzwald-Baar-Kreis🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Villingen-Schwenningen, DE
Beschreibung der Beschaffung:
“Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer...”
Beschreibung der Beschaffung
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Der Preis ist nicht das einzige Zuschlagskriterium, und alle Kriterien werden nur in den Auftragsunterlagen genannt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert ohne MwSt: EUR 990 000 💰
Laufzeit des Vertrags, der Rahmenvereinbarung oder des dynamischen Beschaffungssystems
Der nachstehende Zeitrahmen ist in Monaten ausgedrückt.
Beschreibung
Dauer: 10
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: EU React
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien:
“Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde; Nachweis einer entsprechenden Berufs- oder...”
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien
Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde; Nachweis einer entsprechenden Berufs- oder Haftpflichtversicherung; Eigenerklärung über das Einhalten des Tariftreue- und Mindestlohngesetzes und über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben.
Mehr anzeigen Bedingungen für die Teilnahme
CE-Konformität und Reinraumtauglichkeit
Technische und berufliche Fähigkeiten
Liste und kurze Beschreibung der Auswahlkriterien: gemäß Spezifikation
Bedingungen für die Teilnahme
Bedingungen für die Teilnahme (technische und berufliche Fähigkeiten): gemäß Spezifikation
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2022-08-23
12:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Englisch 🗣️
Das Angebot muss gültig sein bis: 2022-09-30 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote: 2022-08-24
13:00 📅
Bedingungen für die Öffnung der Angebote (Ort): Online Villingen-Schwenningen, Wilhelm-Schickard-Str. 10
Ergänzende Informationen Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg
Postort: Karlsruhe
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de📧
Quelle: OJS 2022/S 136-388459 (2022-07-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-10-27) Objekt Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
“Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium und Aluminiumnitrid-Schichten”
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 990 000 💰
Beschreibung
Beschreibung der Beschaffung:
“Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium und Aluminiumnitrid-Schichten” Vergabekriterien
Preis
Umfang der Beschaffung
Informationen über die Fonds der Europäischen Union: Efre
Verfahren Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2022/S 136-388459
Auftragsvergabe
1️⃣
Vertragsnummer: 22/09.001-14
Titel: Cluster-Trockenätzanlage
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-09-19 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Anzahl der eingegangenen Angebote von KMU: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus anderen EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der eingegangenen Angebote von Bietern aus Nicht-EU-Mitgliedstaaten: 0
Anzahl der auf elektronischem Wege eingegangenen Angebote: 1
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstr. 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ger-pt-office@oxinst.com📧
Region: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 990 000 💰
Quelle: OJS 2022/S 210-602262 (2022-10-27)