Cluster-Trockenätzanlage
Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
DeadlineDie Frist für den Eingang der Angebote war 2022-08-23. Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2022-07-13.
AnbieterDie folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Wer? Wie?- • Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2022-07-13 | Auftragsbekanntmachung |
| 2022-10-27 | Bekanntmachung über vergebene Aufträge |
Auftragsbekanntmachung (2022-07-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Referenznummer: VS_Cluster-Trockenätzanlage_JA
Kurze Beschreibung:
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Schwarzwald-Baar-Kreis 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
Postanschrift: Wilhelm-Schickard-Str. 10
Postleitzahl: 78052
Postort: Villingen-Schwenningen
Kontakt
Internetadresse: http://www.Hahn-Schickard.de 🌏
E-Mail: markus.nagler@hahn-schickard.de 📧
Telefon: +49 77219430 📞
Fax: +49 7721943210 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.de/unterlagen/2607701/zustellweg-auswaehlen 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.de 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-07-13 📅
Einreichungsfrist: 2022-08-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-07-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 136-388459
ABl. S-Ausgabe: 136
Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 990 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 990 000 EUR 💰
Dauer: 10 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EU React
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Villingen-Schwenningen, DE
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Mindeststandards: CE-Konformität und Reinraumtauglichkeit
Technische und berufliche Fähigkeiten: gemäß Spezifikation
Mindeststandards: gemäß Spezifikation
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-08-24 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00
Ort des Eröffnungstermins: Online Villingen-Schwenningen, Wilhelm-Schickard-Str. 10
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Institutionell geförderte Forschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Herr Markus Nagler
Internetadresse: www.Hahn-Schickard.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2607701/zustellweg-auswaehlen 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg
Postort: Karlsruhe
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de 📧
Quelle: OJS 2022/S 136-388459 (2022-07-13)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Mikroelektronische Maschinen und Geräte
Referenznummer: VS_Cluster-Trockenätzanlage_JA
Kurze Beschreibung:
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium- und Aluminiumnitrid-Schichten. Zur Strukturierung dieser Schichten muss in die Prozesskammer ein entsprechender Chlorätzprozess implementiert werden.
Metadaten der Bekanntmachung
Originalsprache: Deutsch 🗣️
Dokumenttyp: Auftragsbekanntmachung
Art des Auftrags: Lieferungen
Verordnung: Europäische Union, mit GPA-Beteiligung
Gemeinsames Vokabular für öffentliche Aufträge (CPV)
Code: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Ort der Leistung
NUTS-Region: Schwarzwald-Baar-Kreis 🏙️
Verfahren
Verfahrensart: Offenes Verfahren
Angebotsart: Angebot für alle Lose
Vergabekriterien
Wirtschaftlichstes Angebot
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Land: Deutschland 🇩🇪
Art des öffentlichen Auftraggebers: Sonstiges
Name des öffentlichen Auftraggebers: Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e.V.
Postanschrift: Wilhelm-Schickard-Str. 10
Postleitzahl: 78052
Postort: Villingen-Schwenningen
Kontakt
Internetadresse: http://www.Hahn-Schickard.de 🌏
E-Mail: markus.nagler@hahn-schickard.de 📧
Telefon: +49 77219430 📞
Fax: +49 7721943210 📠
URL der Dokumente: https://www.evergabe.de/unterlagen/2607701/zustellweg-auswaehlen 🌏
URL der Teilnahme: https://www.evergabe.de 🌏
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-07-13 📅
Einreichungsfrist: 2022-08-23 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-07-18 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 136-388459
ABl. S-Ausgabe: 136
Objekt
Umfang der Beschaffung
Geschätzter Gesamtwert: 990 000 EUR 💰
Geschätzter Wert ohne MwSt: 990 000 EUR 💰
Dauer: 10 Monate
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: EU React
Ort der Leistung
Hauptstandort oder Erfüllungsort: Villingen-Schwenningen, DE
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Wirtschaftliche und finanzielle Leistungsfähigkeit:
Eigenerklärung, dass kein Insolvenzverfahren in Eröffnung ist, eröffnet wurde oder mangels Masse abgelehnt wurde; Nachweis einer entsprechenden Berufs- oder Haftpflichtversicherung; Eigenerklärung über das Einhalten des Tariftreue- und Mindestlohngesetzes und über das ordnungsgemäße Abführen von Steuern und Sozialabgaben.
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Technische und berufliche Fähigkeiten: gemäß Spezifikation
Mindeststandards: gemäß Spezifikation
Verfahren
Rechtsgrundlage: 32014L0024
Zeitpunkt des Eingangs der Angebote: 12:00
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Englisch 🗣️
Gültigkeitsdauer des Angebots: 2022-09-30 📅
Datum der Angebotseröffnung: 2022-08-24 📅
Zeitpunkt der Angebotseröffnung: 13:00
Ort des Eröffnungstermins: Online Villingen-Schwenningen, Wilhelm-Schickard-Str. 10
Öffentlicher Auftraggeber
Identität
Andere Art des öffentlichen Auftraggebers: Institutionell geförderte Forschungseinrichtung
Kontakt
Kontaktperson: Herr Markus Nagler
Internetadresse: www.Hahn-Schickard.de 🌏
Dokumente URL: https://www.evergabe.de/unterlagen/2607701/zustellweg-auswaehlen 🌏
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Vergabekammer Baden-Württemberg
Postort: Karlsruhe
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer@rpk.bwl.de 📧
Quelle: OJS 2022/S 136-388459 (2022-07-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2022-10-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-10-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-10-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 210-602262
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 136-388459
ABl. S-Ausgabe: 210
Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Efre
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-09-19 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstr. 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ger-pt-office@oxinst.com 📧
Land: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 990 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2022/S 210-602262 (2022-10-27)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Kurze Beschreibung:
Cluster Trockenätzanlage für die Strukturierung von Aluminium und Aluminiumnitrid-Schichten
Gesamtwert des Auftrags: 990 000 EUR 💰
Metadaten der Bekanntmachung
Dokumenttyp: Bekanntmachung über vergebene Aufträge
Verfahren
Angebotsart: Entfällt
Vergabekriterien
Niedrigster Preis
Referenz
Daten
Absendedatum: 2022-10-27 📅
Veröffentlichungsdatum: 2022-10-31 📅
Kennungen
Bekanntmachungsnummer: 2022/S 210-602262
Verweist auf Bekanntmachung: 2022/S 136-388459
ABl. S-Ausgabe: 210
Objekt
Umfang der Beschaffung
Bezeichnung des von der EU finanzierten Projekts oder Programms: Efre
Auftragsvergabe
Datum des Vertragsabschlusses: 2022-09-19 📅
Name: Oxford Instruments GmbH
Postanschrift: Borsigstr. 15a
Postort: Wiesbaden
Postleitzahl: 65205
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: ger-pt-office@oxinst.com 📧
Land: Wiesbaden, Kreisfreie Stadt 🏙️
Gesamtwert des Auftrags: 990 000 EUR 💰
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 1
Quelle: OJS 2022/S 210-602262 (2022-10-27)
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