Elektronenstrahllithografie
Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).
DeadlineDeadline 2026-11-23
Wer? Wie?- • Elektronenmikroskope › Rasterelektronenmikroskope
- • Mikroelektronische Maschinen und Geräte und Mikrosysteme › Mikroelektronische Maschinen und Geräte
- • Köln › Bonn, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Ansbach, Kreisfreie Stadt
- • Mittelfranken › Erlangen, Kreisfreie Stadt
Geschichte der Beschaffung
| Datum | Dokument |
|---|---|
| 2026-10-21 | Auftragsbekanntmachung |
Auftragsbekanntmachung (2026-10-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenstrahllithografie
Referenznummer:
Kurze Beschreibung:
Produkte/Dienstleistungen: Rasterelektronenmikroskope 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Postleitzahl: 91052
Stadt: Erlangen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Titel
Los-Identifikationsnummer:
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-11-23 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 25 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-11-13 12:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe: Gemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Nationale Registrierungsnummer:
Abteilung: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
Postanschrift: Konrad-Zuse-Straße 3-5
Postleitzahl: 91052
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
E-Mail: aqut-info@fau.de 📧
Telefon: +49 91318571177 📞
URL: https://www.auftraege.bayern.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/fe8641a2-a1ae-4e01-a709-8a766b97aa24 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/fe8641a2-a1ae-4e01-a709-8a766b97aa24 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Nationale Registrierungsnummer:
Postanschrift: Promenade 27
Postleitzahl: 91522
Postort: Ansbach
Region: Ansbach, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Telefon: +49 981531277 📞
Fax: +49 981531837 📠
URL: https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-10-21+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 205-731705 (2026-10-21)
Objekt
Umfang der Beschaffung
Titel: Elektronenstrahllithografie
Referenznummer:
2026000386
Kurze Beschreibung:
Gegenstand der Beschaffung ist ein Elektronenstrahllithografie-System (EBL) mit integrierten Funktionen zur Rasterelektronenmikroskopie (REM).
Art des Vertrags: Lieferungen
Produkte/Dienstleistungen: Rasterelektronenmikroskope 📦
Beschreibung
Interne Kennung:
c2a06545-05a9-4d2f-92a6-994bf273f87d
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Mikroelektronische Maschinen und Geräte 📦
Postleitzahl: 91052
Stadt: Erlangen
Land: Deutschland 🇩🇪
Ort der Leistung: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Vergabekriterien
Preis ✅
Preis (Gewichtung): 60
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Leistungsbewertung gemäß Kriterienkatalog
Qualitätskriterium (Gewichtung): 40
Titel
Los-Identifikationsnummer:
LOT-0001
Verfahren
Art des Verfahrens
Offenes Verfahren ✅
Rechtsgrundlage: Richtlinie 2014/24/EU
Administrative Informationen
Frist für den Eingang von Angeboten oder Teilnahmeanträgen: 2026-11-23 23:59:00 📅
Sprachen, in denen Angebote oder Teilnahmeanträge eingereicht werden können: Deutsch 🗣️
Mindestzeitraum, in dem der Bieter das Angebot aufrechterhalten muss: 25 Tage
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Die Bieter können mehrere Angebote einreichen
Fortgeschrittene oder qualifizierte elektronische Signatur oder Siegel (im Sinne der Verordnung (EU) Nr 910/2014) erforderlich
Elektronische Rechnungsstellung: Zulässig
Die elektronische Bestellung wird verwendet ✅
Elektronische Zahlung wird verwendet ✅
Frist für die Anforderung zusätzlicher Informationen: 2026-11-13 12:00:00 📅
Zusätzliche Informationen:
Gemäß § 56 Abs. 2 VgV, § 51 Abs. 2 SektVO, § 16a Abs. 1 VOB/A-EU. Mögliche Hinweise des Auftraggebers in den Vergabeunterlagen sind zu beachten.
Vergabekriterien
Gewichtungsart: Gewichtung (Prozentanteil, genau)
Bedingungen für die Einreichung eines Angebots
Der Vertrag enthält Bedingungen zur Vertragsausführung ✅
Rechtliche, wirtschaftliche, finanzielle und technische Informationen
Bedingungen für die Teilnahme
Eignungskriterium: Referenzen zu bestimmten Lieferungen
Liste und kurze Beschreibung der Regeln und Kriterien: Ausschlussgrund: Verstoß gegen die in den rein innerstaatlichen Ausschlussgründen verankerten Verpflichtungen
Beschreibung der Ausschlussgründe: Gemäß § 123, 124 GWB, § 57, 42 Abs. 1 VgV und § 16 VOB/A
Öffentlicher Auftraggeber
Name und Adressen
Name: Freistaat Bayern, vertreten durch die Universität Erlangen-Nürnberg
Nationale Registrierungsnummer:
a215d5ee-7b2b-4ffd-8397-e7bbc0200c3e
Abteilung: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
Postanschrift: Konrad-Zuse-Straße 3-5
Postleitzahl: 91052
Postort: Erlangen
Region: Erlangen, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
Kontaktperson: Lehrstuhl für Angewandte Quantentechnologien
E-Mail: aqut-info@fau.de 📧
Telefon: +49 91318571177 📞
URL: https://www.auftraege.bayern.de/ 🌏
Art des öffentlichen Auftraggebers
Agentur/Amt auf regionaler oder lokaler Ebene
Haupttätigkeit
Bildung
Kommunikation
Dokumente URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/fe8641a2-a1ae-4e01-a709-8a766b97aa24 🌏
Teilnahme-URL: https://www.evergabe.bayern.de/evergabe.bieter/api/supplier/external/deeplink/subproject/fe8641a2-a1ae-4e01-a709-8a766b97aa24 🌏
Elektronische Einreichung: Erforderlich
Ergänzende Informationen
Körper überprüfen
Name: Regierung von Mittelfranken - Vergabekammer Nordbayern
Nationale Registrierungsnummer:
c0f12e87-76f1-4468-90ef-036d199560d7
Postanschrift: Promenade 27
Postleitzahl: 91522
Postort: Ansbach
Region: Ansbach, Kreisfreie Stadt 🏙️
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: vergabekammer.nordbayern@reg-mfr.bayern.de 📧
Telefon: +49 981531277 📞
Fax: +49 981531837 📠
URL: https://www.regierung.mittelfranken.bayern.de/service/vergabekammer/index.html 🌏
Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Wie: Körper überprüfen
Informationen über elektronische Arbeitsabläufe
Die elektronische Rechnungsstellung wird akzeptiert
Bekanntmachungsangaben
Bevorzugtes Datum der Veröffentlichung: 2026-10-21+02:00 📅
Quelle: OJS 2026/S 205-731705 (2026-10-21)
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