Jüngste Beschaffungen durch AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH
2023-08-01E-Beam (AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH)
Zur Bearbeitung der durch die AMO durchgeführten Forschungsprojekte ist eine Erweiterung des bestehenden Anlagenparks und zur Ergänzung der bereits vorhandenen Raith EBPG 5200 Elektronenstrahllithographieanlage um ein Elektronenstrahllithographiesystem mit einer maximalen Beschleunigungsspannung von 30 kV notwendig.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Raith GmbH
2020-06-26Plasma ALD-System (AMO, Gesellschaft für Angewandte Mikro- und Optoelektronik mbH)
Zur Bearbeitung eines Forschungsprojektes benötigt die AMO ein Plasma ALD -System zur Deposition von homogenen dielektrischen Al2O3-Schichten auf einem definierten Schichtsystem (Monolage hBN/Graphen). Die Einkapselung durch die Al2O3-Schicht muss derart erfolgen, dass die Schädigung des darunterliegenden Schichtsystems durch die Einwirkung des Plasmas so gering wie möglich ist.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Oxford Instruments GmbH Plasma