Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter FHR Anlagenbau GmbH erwähnt wird
2023-04-11Magnetron-Sputter-System (Technische Universität Dortmund)
Beschafft werdem soll ein konfokales DC/RF Magnetron-Sputter-System (Co-Sputter-System). Durch das System sollen durch parallelen Betrieb multipler konfokal angeordneter Sputterquellen gezielt funktionale Heterostrukturen zur Durchführung von innovativen anwendungs- und grundlagenorientierten Forschungsprojekten abgeschieden werden können.
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2020-03-27Sputter Clustertool (Albert-Ludwigs-Universität Freiburg)
Lieferung, Aufbau und Inbetriebnahme von einer Depositionsanlage (Kathodenzerstäubungssystem) zur Prozessierung von unterschiedlichsten Substraten mittels (konfokalem) DC- und RF- Sputtern im Sputter-down-Modus. Komplettsystem zur kontaminationsfreien Abscheidung von Dünnschichten.
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2015-09-29Sputteranlage zur Beschichtung von Halbleitersubstraten (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
Sputteranlage zur Beschichtung von Halbleitersubstraten:
Das Fraunhofer Institut für Solare Energiesysteme in Freiburg entwickelt Solarzellen der nächsten Generation. Für die Prozessierung der Solarzellen soll eine Beschichtungsanlage für Metalle, leitfähige Oxide und dielektrische Antireflexschichten angeschafft werden, in welcher W, Si und Mo basierte Schichten in folgenden Systemen hergestellt werden können:
— W-Si-N: Stöchiometrie ca. W0.4Si0.4N0.2, DC-Prozess reaktiv;
— W-C: RF-Prozess nicht …
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2014-10-02SI-Dünnfilmbeschichtungsanlage (Fraunhofer Gesellschaft e. V.)
SI-Dünnfilmbeschichtungsanlage.
Es soll eine Zweikammer-Sputteranlage beschafft werden. Zu den geforderten Funktionen des Equipments gehört die Abscheidung metallischer Gläser von Legierungstargets sowie die Abscheidung nanoskalierter (Multi-)Schichtsysteme auf unterschiedlichen Substraten der Mikrosystemtechnik und Mechatronik. Mit der Anlage sollen in 2 getrennten Prozesskammern Metalle, Metalllegierungen, Keramiken, Oxide und andere Halbleiter typische Materialen abgeschieden werden. Die Sputteranlage …
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