Neuere Beschaffungen, bei denen der Anbieter JEOL Germany GmbH erwähnt wird
2022-04-05Elektronenstrahl-Lithografieanlage (Universität Duisburg-Essen)
Die Universität Duisburg-Essen erforscht im Zentrum für Halbleitertechnik und Optoelektronik
in Duisburg Materialien, Halbleitertechnologien und Modulintegration für Anwendungen in der
Höchstfrequenzelektronik und in der Optoelektronik. Im ZHO wird zur Durchführung der
Forschungsarbeiten eine durchgängige Prozesslinie in einem Reinraum bis Klasse 5 (ISO
14644-1) betrieben.
Zur Untersuchung nanoskaliger Bauelemente wird eine höchstauflösende
Elektronenstrahl-Lithografieanlage benötigt. Es soll eine Anlage …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:JEOL Germany GmbH