2017-07-28Maskenreiniger (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom genutzten ebeam-Lack (ZEP 7000) reinigen. Bei den Masken handelt es sich um Quarzglasplatten der Größe 4 x 4-Zoll bis 7 x 7-Zoll (hier werden wir noch die Dicke angeben, falls das Gewicht der Masken kritisch ist), die mit Chrom beschichtet sind. Beim Reinigungsprozess darf die sich darauf befindende Chromoxidschicht nicht angegriffen werden. Der …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Obducat Europe GmbH