Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS sucht für das Center für Angewandte Mikrostrukturdiagnostik CAM zur elektrischen Charakterisierung und zur elektronenstrahlbasierten Defektlokalisierung an mikroelektronischen Schaltkreisstrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM), nachfolgend als „Los 1“ bezeichnet, sowie zur mikrostrukturellen Untersuchung von Materialien der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik eine fokussierende Ionenstrahlanlage (FIB) mit integriertem Rasterelektronenmikroskop (REM) als kombinierte Zweistrahlanlage, nachfolgend „Los 2“ genannt.
Deadline
Die Frist für den Eingang der Angebote war 2018-07-11.
Die Ausschreibung wurde veröffentlicht am 2018-06-11.
Anbieter
Die folgenden Lieferanten werden in Vergabeentscheidungen oder anderen Beschaffungsunterlagen erwähnt:
Objekt Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskop und ein FIB-REM
E_869_226472 ChrPat-golame
Produkte/Dienstleistungen: Rasterelektronenmikroskope📦
Kurze Beschreibung:
“Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS sucht für das Center für Angewandte Mikrostrukturdiagnostik CAM zur elektrischen...”
Kurze Beschreibung
Das Fraunhofer-Institut für Mikrostruktur von Werkstoffen und Systemen IMWS sucht für das Center für Angewandte Mikrostrukturdiagnostik CAM zur elektrischen Charakterisierung und zur elektronenstrahlbasierten Defektlokalisierung an mikroelektronischen Schaltkreisstrukturen ein Rasterelektronenmikroskop (REM), nachfolgend als „Los 1“ bezeichnet, sowie zur mikrostrukturellen Untersuchung von Materialien der Mikroelektronik und Mikrosystemtechnik eine fokussierende Ionenstrahlanlage (FIB) mit integriertem Rasterelektronenmikroskop (REM) als kombinierte Zweistrahlanlage, nachfolgend „Los 2“ genannt.
Ergänzende Informationen Referenz der ursprünglichen Mitteilung
Nummer der Bekanntmachung im Amtsblatt S: 2018/S 111-252497
Änderungen Zu berichtigender Text in der ursprünglichen Bekanntmachung
Nummer des Abschnitts: IV.2.6)
Ort des zu ändernden Textes: Bindefrist des Angebots
Alter Wert
Datum: 2018-08-10 📅
Zeit: 23:59
Neuer Wert
Datum: 2018-08-31 📅
Zeit: 23:59
Quelle: OJS 2018/S 156-358323 (2018-08-13)
Bekanntmachung über vergebene Aufträge (2018-10-11) Öffentlicher Auftraggeber Name und Adressen
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe” Art des öffentlichen Auftraggebers
Andere Art: Forschungsgesellschaft e. V.
Objekt Umfang der Beschaffung
Gesamtwert der Beschaffung (ohne MwSt.): EUR 0.01 💰
Informationen über Lose
Dieser Vertrag ist in Lose unterteilt ✅
1️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: Rasterelektronenmikroskop
Titel
Los-Identifikationsnummer: 1
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Rasterelektronenmikroskope📦
Ort der Leistung: Halle (Saale), Kreisfreie Stadt🏙️
Hauptstandort oder Erfüllungsort: 06120 Halle (Saale)
Beschreibung der Beschaffung:
“Die zentrale Funktionalität des Gerätes soll bei einer möglichst hohen Abbildungsqualität bei möglichst geringen Beschleunigungsspannungen und möglichst...”
Beschreibung der Beschaffung
Die zentrale Funktionalität des Gerätes soll bei einer möglichst hohen Abbildungsqualität bei möglichst geringen Beschleunigungsspannungen und möglichst kleinen Strahlströmen ohne die Nutzung zusätzlicher Potentiale auf der Probenbühne als Gegenfeld liegen. Weiterhin soll auch die Möglichkeit für große Strahlströme bei mittleren Beschleunigungsspannungen gegeben sein, um eine optimale Signalqualität bei elektronenstrahlbasierten Defektlokalisierungen zu gewährleisten. Für Untersuchungen von Schaltkreisstrukturen muss der Einbau eines vorhandenes 6-fach Mikromanipulatorsystems der Firma IMINA Technologies SA und eines vorhandenen DISS5-EBIC Abbildungssystem der Firma Point Electronic GmbH möglich sein.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Erforderliche technische Leistungsparameter REM
Qualitätskriterium (Gewichtung): 35
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Ergänzende technische Leistungsparameter
Qualitätskriterium (Gewichtung): 10
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Zweckmäßigkeit für Projektaufgaben
Qualitätskriterium (Bezeichnung): Optionen, Installation, Betriebskosten, Sonstiges
Preis (Gewichtung): 35
Informationen über Optionen
Optionen ✅
Beschreibung der Optionen: Service und Wartung, Gewährleistungsverlängerung
2️⃣ Umfang der Beschaffung
Titel: FIB-REM Zweistrahlgerät
Titel
Los-Identifikationsnummer: 2
Beschreibung
Zusätzliche Produkte/Dienstleistungen: Ionenmikroskope📦
Beschreibung der Beschaffung:
“Der Schwerpunkt des Einsatzbereiches dieses Gerätes liegt dabei in der effizienten nanometerpräzisen Zielpräparation für die elektronenmikroskopische...”
Beschreibung der Beschaffung
Der Schwerpunkt des Einsatzbereiches dieses Gerätes liegt dabei in der effizienten nanometerpräzisen Zielpräparation für die elektronenmikroskopische Analyse von Schichtstrukturen und in der Durchmusterung von Defektbereichen in elektronischen und optoelektronischen Halbleiterbauelementen. Hauptanwendungsfelder für diese Anlage werden dabei die Herstellung von präzise positionierbaren, möglichst artefaktfreien und wenige 10 nm dünnen elektronen transparenten Proben für Untersuchungen mittels höchst auflösender Transmissionelektronenmikroskopie sowie die FIB Querschnittspräparation bei gleichzeitiger hoch aufgelöster REM Beobachtung kleinster mikroelektronischer IC-Strukturen und entsprechender Defektbereiche sein.
Mehr anzeigen Vergabekriterien
Qualitätskriterium (Bezeichnung): erfoderliche technische Leistungsparameter REM
Qualitätskriterium (Gewichtung): 15
Qualitätskriterium (Bezeichnung): erforderliche technische Leistungsparameter FIB
Qualitätskriterium (Gewichtung): 20
Qualitätskriterium (Bezeichnung): ergänzende technische Leistungsparameter
Informationen über Optionen
Beschreibung der Optionen:
“In-situ Lift-out System, BSE-Detektortypen, integrierte Auto-FIB/TEM Routinen, Service und Wartung, Gewährleistungsverlängerung”
Verfahren Art des Verfahrens
Offenes Verfahren
Administrative Informationen
Frühere Veröffentlichungen zu diesem Verfahren: 2018/S 111-252497
Auftragsvergabe
1️⃣
Los-Identifikationsnummer: 1
Titel: Rasterelektronenmikroskop
Datum des Vertragsabschlusses: 2018-08-27 📅
Informationen über Ausschreibungen
Anzahl der eingegangenen Angebote: 4
Name und Anschrift des Auftragnehmers
Name: Carl-Zeiss Microscopy GmbH
Postanschrift: Carl-Zeiss Str. 22
Postort: Oberkochen
Postleitzahl: 73447
Land: Deutschland 🇩🇪
Region: Baden-Württemberg🏙️
Der Auftragnehmer ist ein KMU
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
2️⃣
Vertragsnummer: 2
Los-Identifikationsnummer: 2
Titel: FIB-REM Zweistrahlgerät
Angaben zum Wert des Auftrags/der Partie (ohne MwSt.)
Gesamtwert des Auftrags/Loses: EUR 0.01 💰
“— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter...”
— Anforderung Unterlagen – erhältlich bei: Die Vergabeunterlagen können ausschließlich über das Vergabeportal der deutschen e-Vergabe unter www.deutsche-evergabe.de abgerufen werden. – Bewerber unterliegen mit der Angebotsabgabe auch den Bestimmungen über nicht berücksichtigte Angebote (§134 GWB) – Fragen oder Hinweise der Bieter können nur in deutscher Sprache und ausschließlich per E-Mail an die unter Ziffer I.1 genannte Kontaktstelle gerichtet werden. Soweit relevant, werden Antworten auf Fragen oder Hinweise der Bieter auch an alle anderen Bieter versandt.
Mehr anzeigen Körper überprüfen
Name: Vergabekammer des Bundes beim Bundeskartellamt
Postanschrift: Villemombler Straße 76
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53123
Land: Deutschland 🇩🇪 Für Mediationsverfahren zuständige Stelle
Name: Vergabeprüfstelle des BMBF Referat Z 23
Postanschrift: Heinemannstraße 2
Postort: Bonn
Postleitzahl: 53175
Land: Deutschland 🇩🇪 Verfahren zur Überprüfung
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren:
“Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen,...”
Genaue Informationen über Fristen für Überprüfungsverfahren
Ein Nachprüfungsantrag ist unzulässig, soweit mehr als 15 Kalendertage nach Eingang der Mitteilung des Auftraggebers, einer Rüge nicht abhelfen zu wollen, vergangen sind (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 4 GWB). Ein Nachprüfungsantrag ist zudem unzulässig, wenn der Zuschlag erfolgt ist, bevor die Vergabekammer den Auftraggeber über den Antrag auf Nachprüfung informiert hat (§§ 168 Abs. 2 Satz 1, 169 Abs. 1 GWB). Die Zuschlagserteilung ist möglich 15 Kalendertage nach Absendung der Bieterinformation nach § 134 Abs. 1 GWB. Wird die Information auf elektronischem Weg oder per Fax versendet, verkürzt sich die Frist auf zehn Kalendertage (§ 134 Abs. 2 GWB). Die Frist beginnt am Tag nach der Absendung der Information durch den Auftraggeber; auf den Tag des Zugangs beim betroffenen Bieter und Bewerber kommt es nicht an. Die Zulässigkeit eines Nachprüfungsantrags setzt ferner voraus, dass die geltend gemachten Vergabeverstöße 10 Kalendertage nach Kenntnis gegenüber dem Auftraggeber gerügt wurden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 1 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die aufgrund der Bekanntmachung erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der in der Bekanntmachung benannten Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 2 GWB). Verstöße gegen Vergabevorschriften, die erst in den Vergabeunterlagen erkennbar sind, müssen spätestens bis zum Ablauf der Frist zur Bewerbung oder zur Angebotsabgabe gegenüber dem Auftraggeber gerügt werden (§ 160 Abs. 3 Satz 1 Nr. 3 GWB).
Mehr anzeigen Dienststelle, bei der Informationen über das Überprüfungsverfahren eingeholt werden können
Name:
“Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal eVergabe”
Postanschrift: Hansastraße 27c
Postort: München
Postleitzahl: 80686
Land: Deutschland 🇩🇪
E-Mail: einkauf@zv.fraunhofer.de📧
URL: http://www.fraunhofer.de🌏
Quelle: OJS 2018/S 198-447887 (2018-10-11)