2021-11-04Los 1 - Mask Aligner (Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V.)
Das Leibniz-Institut für Photonische Technologien e.V. schreibt einen Mask Aligner aus, welcher zur Belichtung von Photoresistschichten durch entsprechende Photomasken mittels UV-Licht eingesetzt werden soll. Weiterhin soll der Mask Aligner für die Vorder- und Rückseitenbelichtung/-justage von diversen Substraten sowie für Flutbelichtungen nutzbar sein.
- Wertungskriterien: technische Spezifikationen 60%, Preis 40%
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:EV Group E. Thallner GmbH
2020-04-07Anodischer Bonder (Leibniz-Institut für Photonische Technologien e. V.)
Das Leibniz-IPHT beabsichtigt für die Herstellung von optischen Sensoren benötigt, welche in einem aktuell laufenden Projekt verwendet werden, ein anodisches Bondsystem anzuschaffen, welches in der Lage sein soll, den Prozessablauf zu programmieren, als auch, manuell eingestellte Arbeitsschritte durchzuführen. Das System soll manuell zu beladen sein und alle Komponenten, die zum anodischen Bonden notwendig sind, beinhalten. Das Bondsystem muss in einer Glove-box betrieben werden und sowohl auf Chiplevel, …
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2019-09-06Maskaligner (Hahn-Schickard-Gesellschaft für angewandte Forschung e. V.)
Hahn-Schickard plant für seinen MEMS-Reinraum, einen weiteren Maskaligner zur Erhöhung der Redundanz und zur Erweiterung des bearbeitbaren Materialspektrums. Zusätzlich zur bestehenden Anlage, welche die Bearbeitung von Substraten mit 100 und 150 mm Durchmesser erlaubt, soll die neue Anlage in der Lage sein auch 200 mm Substrate zu bearbeiten.
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