2020-07-27115 — IBE-IBD-SIMS-System (RWTH Aachen University)
System, das geeignet ist für:
— Ionenstrahl ätzen (engl. Ion Beam Etching (IBE)) im Sinne von Sputterätzen mit Argon als Prozessgas;
— reaktives Ionenstrahl ätzen (engl. Reactive Ion Beam Etching (RIBE)) mit chlor- und fluorhaltigen Gasen;
— Ionenstrahl deponieren (engl. Ion Beam Deposition (IBD)) über eine zweite Ionenstrahlquelle und einen Targethalter;
— Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS).
Kurzbezeichnung dieses Systems: IBE-IBD-SIMS-System.
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2020-02-03Diagnostikplattform RISQ-DIAP (Universität Leipzig)
Gesucht wird eine modular aufgebaute Vakuumkammer mit 5-Achsen-Bewegungssystem als Plattform zur Integration verschiedener Ionenstrahldiagnostiken für die Charakterisierung inert bzw. reaktiv arbeitender Breitstrahlionenquellen sowie der damit einhergehenden Ionenstrahlätzprozesse. Weiterhin werden eine Breitstrahlionenquelle sowie ein Neutralisator gesucht, beide reaktivgastauglich und aus technologischen Gründen vorzugsweise mit HF-Anregung.
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2017-06-22(GLAD) System (Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH (HZB))
Lieferung einer Hochvakuumbeschichtungsanlage zur Herstellung von nanostrukturierten (glancing angle deposition – GLAD) dünnen Schichten für Photoelektroden zur solaren Wasserspaltung.
Die vollständige Spezifkation erhalten alle Bewerber, die die Bedingungen zur Teilnahme an dieser Ausschreibung erfüllen, mit der Aufforderung zur Angebotsabgabe.
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2015-03-06Ionenstrahlätzanlage (Technische Universität Dresden)
Lieferung und betriebsfertige Übergabe einer Anlage zum Ionenstrahlätzen von Wafern und geträgerten Einzelsubstraten bis zu einem Durchmesser von 150 mm zur Aufstellung im Vakuumtechnologielabor des Institutes für Festkörperelektronik der TU Dresden
Schlüsselanforderungen:
— Ionenquelle: Filamentlose Ionenquelle, die langzeitstabile
IBE-, RIBE- und CAIBE-Prozesse ermöglicht. Strahlneu-tralisation mit PBN und Ionenstrommessung mit Faraday-Cup.
— Vakuum-Prozesskammer: Eine Edelstahlkammer, die alle …
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