2017-08-01Bonder (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Zur Umsetzung einer IGBT (insulated gate bipolar technology) auf SiC Substraten ist das Abschleifen des n-Substrates bis zur p-Epitaxie unabdingbar. Dazu muss die fertig prozessierte Vorderseite der SiC Scheibe auf einen Substrathalter temporär gebondet werden. Anschließend muss die Scheibe geschliffen und poliert und dann auf der Rückseite weiter prozessiert werden. Zuletzt muss die Scheibe dann wieder vom Substrathalter entfernt werden. Dazu werden folgende Anlagen benötigt:
1. Beschichter zum …
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2017-07-28Maskenreiniger (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Maskenreinigers Die gesuchte Anlage soll durch Kontaktlithographie verunreinigte Masken säubern und neu geschriebene Masken aus unserer Maskenfertigung vom genutzten ebeam-Lack (ZEP 7000) reinigen. Bei den Masken handelt es sich um Quarzglasplatten der Größe 4 x 4-Zoll bis 7 x 7-Zoll (hier werden wir noch die Dicke angeben, falls das Gewicht der Masken kritisch ist), die mit Chrom beschichtet sind. Beim Reinigungsprozess darf die sich darauf befindende Chromoxidschicht nicht angegriffen werden. Der …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Obducat Europe GmbH
2017-07-28Großfeld Waferlevel Wedge-/ Bändchenbonder (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Großfeld Waferlevel Wedge-/ Bändchenbonder.
Großfeld Waferlevel Wedge-/ Bändchenbonder Das Gerät soll zum Drahtbonden auf ungesägten Wafern bis 12“ Durchmesser eingesetzt werden. Um diese zukunftsweisende Technologie des Wafer Level Packaging nutzen zu können, ist eine Maschine notwendig, die einen sehr großen Arbeitsbereich hat. Dieser muss ohne ein Versetzen des Substrats abgearbeitet werden können. Des Weiteren ist eine hohe Anfahr- und Wiederholgenauigkeit unverzichtbar, um Impedanz-kontrollierte …
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2017-07-27Grooving Laser Dicer (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Grooving Laser Dicer
Das Fraunhofer IZM-ASSID möchte eine vollautomatische Laser-Grooving-Anlage mit integrierter Belackungs- und Reinigungsstation und Unterstützung von programmierbaren, flexiblen Prozesswiederholfrequenzen sowie einem integrierten Kerf- und Beam-Position-Check beschaffen. Die Anlage muss Ultra-Low k-Materialien und mehrlagige Metall- und Oxid-Schichten als Teil des BEoL-Stacks aus den Sägestraßen hochintegrierter Halbleiterbausteine entfernen und die Seitenwand des gelaserten Grabens …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Disco Hi-Tec Europe GmbH
2017-07-21Drahtverschaltungsstringer (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Der Drahtverschaltungsstringer dient der Serienverschaltung von kristallinen Solarzellen zu Solarzellen-Strings, wobei belotete Runddrähte als Verbindungsleiter verwendet werden. Die Verschaltung muss mittels IR-Löttechnologie erfolgen. In die Anlage werden kristalline Solarzellen eingebracht, Spulen mit Verbinderdrähten installiert und Flussmittel eingefüllt. Die Anlage muss verlötete Solarzellenstrings ausfördern, die anschließend in einem separaten Laminator zu einem Solarmodul laminiert werden.
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2017-07-17Interferometer für Vakuumanwendung (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Interferometer für Vakuumanwendung
Das zu beschaffende Interferometer soll für die messtechnischen Aufgaben unter extremen Umweltbedingungen (Vakuum, hohe und tiefe Temperaturen) mit hoher Präzision und Reproduzierbarkeit ermöglichen. Wichtig ist eine Schwingungsentkopplung um Messartefakte zu vermeiden. Außerdem ist darauf zu achten, dass Druckunterschiede zwischen der Umgebung (Interferometeraufstellplatz) und Prüfraum (Vakuumkammer) zu keinerlei Beeinflussung der Messergebnisse führen.
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2017-07-12Maskenloses Laser Lithografie System (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Maskenloses Laser Lithografie System
Das System dient der Durchführung maskenloser optischer Lithografieprozesse mittels Laser Direktbelichtung auf unterschiedlichen Substratmaterialien (SiC, GaAs, GaSb, Diamant). Die Substratgröße variiert zwischen 3 x 3 mm² und 100 mm. Die Belichtung erfolgt auf üblichen I-Line Fotolacken mit einem Empfindlichkeitsbereich von 365 405 nm Wellenlänge. Ein Autofokussystem gleicht die Substratkrümmung durch Nachführung des Fokuspunktes aus. Wegen der relativ langen …
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2017-07-11Anlage zur Planarisierung auf Waferlevel (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Anlage zur Planarisierung auf Waferlevel
Das Fraunhofer HHI benötigt einen kompakten (Breite < 60 cm) halbautomatischen Planarisierer auf Wafer Level Ebene. Es sollen damit hauptsächlich in eine Polymermatrix eingebettete Metallstrukturen (galvanisch hergestellte Goldkontakte, Löt-Bumps etc.) mit hoher Genauigkeit (TTV < 2 µm) und Reproduzierbarkeit (< 2 µm von Wafer zu Wafer) planarisiert werden. Weiterhin sollen nachweißbar auch unbelichtete Photolacke, Polymerschichten und Stacks aus mit Tape …
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2017-06-29Gasvakuumofen (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Das Ofenaggregat wird zukünftig zur Synthese von keramischen Pulvern und zur Sinterung von Werkstoffe unter verschiedenen, frei mischbaren Prozessgasatmosphären genutzt. Dabei sichert der Ofen schnelle Aufheizraten von bis zu 50K/min bis 2 000°C und 25K/min bis 2 500°C. Das Abkühlen kann in einer getrennten Kühlkammer erfolgen. Dazu ist der Tiegelstapel aus der Heizzone automatisch in die Kühlkammer zu verfahren. Das Aggregat muss dazu die Möglichkeit bieten, dass ein geeignet aufgebauter Ofen, bestehend …
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2017-06-29Synthesegasprüfstand (Fraunhofer Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e. V. über Vergabeportal deutsche eVergabe)
Inhalt der Ausschreibung ist ein hochdynamischer Laborprüfstand zur Untersuchung des Einsatzverhaltens von Katalysatoren in synthetischen Modellabgasen, die durch Dosierung unterschiedlicher Gaskomponenten und Verdampfung organischer und wässriger Flüssigkeiten hergestellt werden. Als Testsystem ist ein Modellgasprüfstand zur Untersuchung monolithischer Katalysatorproben vorgesehen, bei dem die Gas- und Probentemperaturen, Verweilzeiten und Zusammensetzung des Messgases mit hoher Dynamik variiert werden …
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