2021-06-03Automatische Doppelspindel-Wafersäge zur Bearbeitung von Wafern (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Automatische Doppelspindel-Wafersäge zur Bearbeitung von Wafern mit max. 200 mm Durchmesser verschiedener Dicken ca. 75 Müm bis 1.6 mm dicken Wafern bzw. Waferteilen im Full- Cut-, Halfcut- oder Circle-Cut-Verfahren und anschließendem Cleaning-Prozess
Doppelspindelsäge
Allgemeine Informationen:
— Anlage zum Dicing an 200 mm BiCMOS Wafern, für Blade Dicing Prozesse (Full Cut, Half Cut, Circle Cut),
— Möglichkeit für funktionale Erweiterung des Tools für zukünftigen Forschungsaktivitäten des IHP (z. B. …
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2021-06-01Hochleistungs-Zweistrahl-Spektrometer mit Doppelmonochromator-System (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Hochleistungs-Zweistrahl-Spektrometer mit Doppelmonochromator-System für den Wellenlängenbereich: 175-3 300 nm
Spaltbreiten: 0,05 bis 5 nm
Streulicht < 0.00007 %T
3 Detektoren: Photomultiplier, 3-stufige Peltier gekühlte InGaAs Zelle, Peltier-gekühlte PbS-Zelle
PC mit Flachbildschirm inklusive Software zur Ansteuerung
Integrationskugel für UV/Vis/NIR zur Messung der diffusen Transmission und Absorption
System für automatisierte winkelabhängige Absolut-Messung von nichtstreuenden Proben sowie die …
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2021-05-20Nassätztool Platin-Ätzung (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Allgemeine Information:
— Zur Abschätzung der Folgekosten nach Ablauf der Garantie muss ein Plan für die Ersatzteilbeschaffung für die darauf folgenden 3 Jahre ausgestellt werden,
— Die Anlage wir ein einem Reinraum Klasse ISO 3-5 aufgestellt.
Die Anlage muss folgende Anforderungen erfüllen:
— Maximale Größe (b x l x h): 1.00 m x 1.65 m x 2.50 m,
— Bearbeitung von 8" Si-Substraten im Batch (1x25),
— Anlage muss „State-of-the-art“ sein,
— Kompatibel mit Carrier des Typs Entegris A192 – 81M (low profile …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:AP&S International GmbH
2021-04-28Reticle/Maskenschrank (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
1 Reticleschrank für 6" Reticle Case TC-8 für NIKON Scanner / Stepper (Barcodetype) Nikon-part-no: KXA67044 (KBB10131). Schrank muss geschlossen sein. Das Fassungsvermögen muss bei exakt 98 Reticleboxen liegen. Eine Ausführung aus Acrylglas XT in Reinstraumqualität "Klasse 1"muss gegeben sein. Die max. Breite/Höhe von 66 cm/203 cm und Tiefe von 60 cm (inkl. geöffneter Türen) dürfen nicht überschritten werden dürfen. Die Türen müssen durchsichtig sein, damit ein Einblick in den Schrank ermöglicht …
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2021-02-15VE 477-1 Prozessfortluftanlagen (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Im Zuge der „STRE“ wurde im südlichsten Bereich des Gebäudes im 3. OG der Bereich südlich der Achse 3' für eine nachträgliche Aufstellung von Prozessfortluftanlagen vorgehalten. Die nachfolgende Leistungsbeschreibung umfasst diese Prozessfortluftanlagen.
Bei den geplanten Anlagen handelt es sich um 2 Prozessfortluftanlagen, die zur Abführung der im EG und 1. OG entstandenen Abgase. Diese Abgase stammen aus der Absaugung von Gaskabinetten, sowie der Abluft aus Prozessen.
Beiden Anlagen werden so …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:mgt fluid GmbH
2021-01-21Lüftungstechnische Anlagen VE 20 (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Im Reinraumbereich des IHP wird diverses Anlagenequipment ergänzt, erneuert bzw. ausgetauscht.
Dafür sind die jeweiligen Prozessfortluftanschlüsse nach Herstellervorgaben bzw. Vorgaben des Nutzers zu realisieren und in das vorhandene Anlagensystem einzubinden.
Entsprechend der unterschiedlichen Inhaltsstoffe, die während der ablaufenden Prozesse in die Prozessfortluft gelangen, sind in der Grundversorgung verschiedene Prozessfortluftsysteme installiert.
— Edelstahl V2A (lösemittelhaltige Abluft, …
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2020-10-08Service Support Vertrag – Belichtungsmaschinen NSR SF150 und NSR S210D (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Leistungsbeschreibung zur öffentlichen Ausschreibung für einen Service Support Vertrag
Service Support Vertrag für Nikon – Belichtungsmaschinen NSR SF150 und NSR S210D
Der Leistungsumfang betrifft je eine Nikon – Belichtungsmaschine NSR SF150 mit der Seriennummer 2420019 (Customer tool code LIT-5) und NSR S210D mit der Seriennummer 8834006 (Customer tool code LIT-6), für einen Service-Support-Zeitraum vom 2 Jahren ab Auftragserteilung.
Der Service-Support-Vertrag muss inhaltlich den zuverlässigen Betrieb …
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2020-10-01Arbitrary Waveformgenerator mit 256 GSa/s (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Arbitrary Waveform Generator (AWG) mit folgenden Eigenschaften:
— 2 differentielle Kanäle bis 256 GSa/s;
— 4 differentielle Kanäle bis 128 GSa/s;
— Separate Clock für mindestens 4 Kanäle;
— Intrinischer Jitter <50 fs;
— Analogbandbreite >= 65 GHz;
— Max. Ausgangspegel: >=1.6 VPP(diff.) @96GBd und 256 GSa/s;
— Geeignet für QPSK, PAM, QAM, NRZ, PRBS;
— Unterstützt Pulsformung;
— THD besser 1 %;
— USB Interface;
— CE-Zertifizierung;
— Betriebsspannung: 230/400 VAC 50 Hz PE/N;
— 5 Jahre Garantie.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Keysight Technologies Deutschland GmbH
2020-06-05Steuerung zur Reinstwasseranlage (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Die ausgeschriebenen MSR-Anlagen für Heizung/Lüftung/Sanitär sind mit den Wünschen der Bauherrenschaft abgestimmt.
Der Betreiber hat die Möglichkeit über eine bestehende Leittechnik auf die Anlagen zuzugreifen und Eingriffe vorzunehmen.
Bei der Projektierung wurde der Umfang der Elektroinstallationsarbeiten mit dem Gewerk Elektro auf diese Lösung abgestimmt.
Die Aufteilung und Anzahl der Automationsstationen ist aus Gründen der Betriebssicherheit zwingend einzuhalten.
Die Schaltanlage ist fester …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Neuberger Gebäudeautomation GmbH
2020-04-20Tiefe Oxidätzkammer „Synapse“ (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
1. Synapse Prozesskammer für Tiefes Oxidätzen, zu installieren an einem vorhandenen fxP Versalis Transportmodul von Fa. SPTS an dem bereits 1x Rapier- und 1x APM-Kammer montiert sind;
2. Mindestanforderung an Kammer:
2.1. Installation in Reinraum Klasse 1,
2.2. Einsatzgebiet Tiefes Oxidätzen (low pressure + high density plasma) von 200 mm Wafer,
2.3. Hardware und Prozess muss vollständig mit state of the art Software gesteuert und in die bestehende Anlage und Anlagensteuerung integriert werden, ohne das …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:SPTSTechnologies Limited
2020-02-21Parametertester (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Neugerät Parametrisches Testsystem mit folgenden Eigenschaften:
— 230 VAC, 50 Hz power distribution unit (PDU) entsprechend deutscher Spannungsnorm, Anschluss für TN-S Netz,
— es muss volle Kompabilität zu Keithley Test Environment (KTE) Software sichergestellt sein,
— 4 SMU (Strombereich mind. 100 pA bis 1A; Spannungsbereich mind. 200 mV bis 100 V),
— Switch Matrix in 24 pin full force-sense Kelvin Konfiguration,
— 1 Digital Multimeter (mind. 7.5 digit resolution; Messbereiche mind. 100 mV bis 100 V),
— …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Tektronix GmbH Keithley Instruments...
2019-07-31Trockenätzkammer (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Die zu erwerbende Trockenätzkammer soll an ein bereits vorhandenes Centura Mainframe der Firma Applied Materials installiert werden. Mit der Erweiterung des vorhandenen Mainframes um eine weitere Kammer soll u. a. die Möglichkeit geschaffen werden, Prozesse im FEOL-Bereich redundant gestalten zu können. Deswegen muss ein bereits vorhandener Oxidätzkammertyp (Super e chamber von AMAT) installiert werden.
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Applied Materials – Singapore
2019-07-10Grinder und Edgetrimmer (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Leistungsbeschreibung (Leistungsverzeichnis) für: Grinder und Edgetrimmer für 200 mm BiCMOS Wafer und temporär/permanent gebondete Waferstacks mit den Anlagen soll die 200 mm Pilotlinie für temporäres und permanentes Waferbonden erweitert werden, um die Prozessqualität und -stabilität, den Durchsatz im Bereich Grinden und Edgetrimmen zu erhöhen sowie neue Prozessmöglichkeiten zur Bearbeitung von 200 mm SiGe BiCMOS Wafern und temporär/permanent gebondeten Waferstacks zu schaffen. Die am IHP mit dem …
Ansicht der Beschaffung » Erwähnte Lieferanten:Accretech (Europe) GmbHDisco Hi-Tec Europe GmbH
2019-06-13Empfangs- und Sicherheitsdienstleistungen (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Gegenstand der vorliegenden Ausschreibung ist die einheitliche Vergabe der Empfangs- und Sicherheitsleistungen in der Liegenschaft des AG in Frankfurt Oder. Eine differenzierte Aufstellung der Leistungen kann dabei der Anlage sowie den folgenden Ausführungen entnommen werden.
Alle zu erbringenden Dienstleistungen sind erfasst und mit einem der Nutzung entsprechenden Intervall und Qualitätsstandard hinterlegt.
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2019-03-11Reinigungsleistungen (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Leistungsgegenstand und Objektbeschreibung
Die IHP GmbH betreibt Forschungs- und Entwicklungsprojekte mit einer Vielzahl von Firmen, Forschungseinrichtungen und Instituten deutschland- und weltweit. Als Mitglied der Wissenschaftsgemeinschaft Gottfried Wilhelm Leibniz erfolgt die Grundfinanzierung der IHP GmbH durch Bund und Land. Das IHP beschäftigt derzeit rund 300 Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter aus 30 Ländern. Die Kernkompetenz liegt im Bereich der Mikroelektronik: Prozesstechnologie, …
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2019-01-30Erneuerung Salpeter- und Phosphorsäure-Versorgungskabinette (IHP GmbH – Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik)
Allgemeine Vorbemerkungen:
Die IHP-GmbH als anerkanntes Forschungsinstitut im Verbund der Leibniz-Gesellschaft betreibt seit 1999 am Standort Frankfurt(Oder) einen Reinraum mit einer Grundfläche von 1 000 m zur industrienahen Präparation von Siliziumwafern.
Nach durchgängigem Einsatz wurde im Jahre 2017 damit begonnen, die vorhandenen Chemikalien-Versorgungskabinette zu erneuern.
Für 2019 ist der Ersatz des Salpetersäure- und des Phosphorsäure – Versorgungskabinettes vorgesehen. Der Austausch kann nur im …
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